发明公开
- 专利标题: 有机薄膜晶体管及其制造方法、以及使用了它的有源矩阵型显示器和无线识别标签
- 专利标题(英): Organic thin-film transistor and process for fabricating the same, active matrix type display employing it and radio identification tag
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申请号: CN200480019832.2申请日: 2004-07-08
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公开(公告)号: CN1823425A公开(公告)日: 2006-08-23
- 发明人: 七井识成 , 山本伸一 , 河北哲郎
- 申请人: 松下电器产业株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 陈建全
- 优先权: 272851/2003 2003.07.10 JP
- 国际申请: PCT/JP2004/010066 2004.07.08
- 国际公布: WO2005/006449 JA 2005.01.20
- 进入国家日期: 2006-01-10
- 主分类号: H01L29/786
- IPC分类号: H01L29/786 ; H01L21/336 ; H01L51/00
摘要:
本发明提供一种有机薄膜晶体管,其具有基板(11)和设置在基板(11)上的由有机半导体构成的半导体层(14),半导体层(14)由上述有机半导体的晶体构成;上述晶体的晶相与上述有机半导体的能量最稳定的块晶的晶相相同。并且,本发明的有机薄膜晶体管的制造方法是在基板(11)上蒸镀有机半导体而形成半导体层(14)的有机薄膜晶体管的制造方法,在蒸镀上述有机半导体时,将基板(11)的温度保持在40~150℃的范围内,以0.1~1nm/分的蒸镀速度进行蒸镀。