Invention Publication
- Patent Title: 由钛和钛氧化物和低氧化物物理气相沉积的能量转换和储存膜和器件
- Patent Title (English): Energy conversion and storage films and devices by physical vapor deposition of titanium and titanium oxides and sub-oxides
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Application No.: CN200480021078.6Application Date: 2004-05-21
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Publication No.: CN1826424APublication Date: 2006-08-30
- Inventor: 理查德·欧内斯特·德马雷 , 张红梅 , 穆昆丹·纳拉辛汉 , 瓦西莉基·米洛诺保卢
- Applicant: 希莫菲克斯公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚
- Assignee: 希莫菲克斯公司
- Current Assignee: 斯普林沃克斯有限责任公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 陈平
- Priority: 60/473,375 2003.05.23 US
- International Application: PCT/US2004/014524 2004.05.21
- International Announcement: WO2004/106582 EN 2004.12.09
- Date entered country: 2006-01-20
- Main IPC: C23C14/14
- IPC: C23C14/14 ; C23C14/08 ; C23C14/34 ; H01L21/316
Abstract:
通过脉冲DC偏压反应溅射法从含钛靶沉积高密度氧化膜，以形成高质量含钛氧化膜。根据本发明形成钛基层或膜的方法包括通过脉冲DC偏压反应溅射法在衬底沉积含钛氧化物层。在一些实施方案中，所述层是TiO2。在一些实施方案中，所述层是钛低氧化物。在一些实施方案中，所述层是TixOy，其中x在约1和约4之间，并且y在约1和约7之间。在一些实施方案中，可以将所述层掺杂一种或多种稀土离子。这样的层可用于能量和电荷储存以及能量转换技术。
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