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公开(公告)号：CN101931097A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201010161517.0
申请日：2005-12-07
Applicant: 希莫菲克斯公司
IPC: H01M10/0585 , H01M4/525 , H01M10/052 , H01M10/0562
CPC classification number: H01M4/0426 , C23C14/08 , C23C14/35 , C23C14/5806 , H01M4/0423 , H01M4/0428 , H01M4/0471 , H01M4/131 , H01M4/1391 , H01M4/525 , H01M4/66 , H01M4/661 , H01M4/667 , H01M6/185 , H01M6/188 , H01M6/46 , H01M10/052 , H01M10/0562 , H01M10/0585 , H01M2004/028 , H01M2300/002 , H01M2300/0071 , Y10T29/49115
Abstract: 本发明提供一种电池结构体和层叠电池结构体，其包含在低温衬底上面沉积的结晶LiCoO2层，其中所述结晶LiCoO2层具有在750至1700之间的晶粒大小。
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公开(公告)号：CN101511493B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200680039671.2
申请日：2006-08-24
Applicant: 希莫菲克斯公司
CPC classification number: H01L21/02197 , C23C14/088 , C23C14/3414 , C23C14/345 , C23C14/50 , H01G4/085 , H01G4/1227 , H01G4/30 , H01G4/33 , H01L21/02266 , H01L21/31691
Abstract: 根据本发明，提出了通过脉冲dc物理气相沉积方法或通过RF溅射方法沉积钙钛矿材料例如钛酸锶钡(BST)膜。这样一种沉积可以提供钙钛矿层的高沉积速率的沉积。所述沉积的一些实施方案解决了对钙钛矿膜的高速率沉积的需要，所述钙钛矿膜可以用作电容器、其它能量储存器件和微电子应用中的电介质层。根据本发明的方法的实施方案可以消除常规上使所述BST层结晶所需的高温(＞700℃)退火步骤。
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公开(公告)号：CN1826424A
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200480021078.6
申请日：2004-05-21
Applicant: 希莫菲克斯公司
Inventor： 理查德·欧内斯特·德马雷 , 张红梅 , 穆昆丹·纳拉辛汉 , 瓦西莉基·米洛诺保卢
IPC: C23C14/14 , C23C14/08 , C23C14/34 , H01L21/316
CPC classification number: H01L21/7687 , C23C14/0036 , C23C14/083 , C23C14/345 , H01L21/2855 , H01L21/31604
Abstract: 通过脉冲DC偏压反应溅射法从含钛靶沉积高密度氧化膜，以形成高质量含钛氧化膜。根据本发明形成钛基层或膜的方法包括通过脉冲DC偏压反应溅射法在衬底沉积含钛氧化物层。在一些实施方案中，所述层是TiO2。在一些实施方案中，所述层是钛低氧化物。在一些实施方案中，所述层是TixOy，其中x在约1和约4之间，并且y在约1和约7之间。在一些实施方案中，可以将所述层掺杂一种或多种稀土离子。这样的层可用于能量和电荷储存以及能量转换技术。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101073171A
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200580042305.8
申请日：2005-12-07
Applicant: 希莫菲克斯公司
Abstract: 根据本发明，描述了用脉冲调制的dc物理气相沉积方法沉积LiCoO2层。这种沉积可以提供LiCoO2结晶层的低温、高沉积速率的沉积，所述LiCoO2结晶层具有理想的 或 取向。所述沉积的一些实施方案解决了LiCoO2膜的高速率沉积的需要，所述LiCoO2膜可以用作固态可再充电Li电池中的阴极层。根据本发明的方法的实施方案可以消除常规上使所述LiCoO2层结晶所需的高温(＞700℃)退火步骤。所述方法的一些实施方案通过使用具有小的匀变速率的快速热退火处理可以改进使用所述LiCoO2层的电池。
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公开(公告)号：CN101073171B
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200580042305.8
申请日：2005-12-07
Applicant: 希莫菲克斯公司
Abstract: 根据本发明，描述了用脉冲调制的dc物理气相沉积方法沉积LiCoO2层。这种沉积可以提供LiCoO2结晶层的低温、高沉积速率的沉积，所述LiCoO2结晶层具有理想的 或 取向。所述沉积的一些实施方案解决了LiCoO2膜的高速率沉积的需要，所述LiCoO2膜可以用作固态可再充电Li电池中的阴极层。根据本发明的方法的实施方案可以消除常规上使所述LiCoO2层结晶所需的高温(>700℃)退火步骤。
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公开(公告)号：CN101931097B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201010161517.0
申请日：2005-12-07
Applicant: 希莫菲克斯公司
IPC: H01M10/0585 , H01M4/525 , H01M10/052 , H01M10/0562
CPC classification number: H01M4/0426 , C23C14/08 , C23C14/35 , C23C14/5806 , H01M4/0423 , H01M4/0428 , H01M4/0471 , H01M4/131 , H01M4/1391 , H01M4/525 , H01M4/66 , H01M4/661 , H01M4/667 , H01M6/185 , H01M6/188 , H01M6/46 , H01M10/052 , H01M10/0562 , H01M10/0585 , H01M2004/028 , H01M2300/002 , H01M2300/0071 , Y10T29/49115
Abstract: 本发明提供一种电池结构体和层叠电池结构体，其包含在低温衬底上面沉积的结晶LiCoO2层，其中所述结晶LiCoO2层具有在至之间的晶粒大小。
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公开(公告)号：CN101511493A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200680039671.2
申请日：2006-08-24
Applicant: 希莫菲克斯公司
CPC classification number: H01L21/02197 , C23C14/088 , C23C14/3414 , C23C14/345 , C23C14/50 , H01G4/085 , H01G4/1227 , H01G4/30 , H01G4/33 , H01L21/02266 , H01L21/31691
Abstract: 根据本发明，提出了通过脉冲dc物理气相沉积方法或通过RF溅射方法沉积钙钛矿材料例如钛酸锶钡(BST)膜。这样一种沉积可以提供钙钛矿层的高沉积速率的沉积。所述沉积的一些实施方案解决了对钙钛矿膜的高速率沉积的需要，所述钙钛矿膜可以用作电容器、其它能量储存器件和微电子应用中的电介质层。根据本发明的方法的实施方案可以消除常规上使所述BST层结晶所需的高温(＞700℃)退火步骤。
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公开(公告)号：CN101255545A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200710194004.8
申请日：2005-12-07
Applicant: 希莫菲克斯公司
Abstract: 根据本发明，描述了用脉冲调制的dc物理气相沉积方法沉积LiCoO2层。这种沉积可以提供LiCoO2结晶层的低温、高沉积速率的沉积，所述LiCoO2结晶层具有理想的 或 取向。所述沉积的一些实施方案解决了LiCoO2膜的高速率沉积的需要，所述LiCoO2膜可以用作固态可再充电Li电池中的阴极层。根据本发明的方法的实施方案可以消除常规上使所述LiCoO2层结晶所需的高温(＞700℃)退火步骤。
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