发明公开
CN1877245A 间隙检测装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 间隙检测装置
- 专利标题(英): Gap measurement apparatus
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申请号: CN200510022847.0申请日: 2005-12-12
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公开(公告)号: CN1877245A公开(公告)日: 2006-12-13
- 发明人: 岩田高明 , 土谷和之 , 大村浩嘉
- 申请人: 三菱电机株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 三菱电机株式会社
- 当前专利权人: 三菱电机株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 王以平
- 优先权: 2005-169853 2005.06.09 JP
- 主分类号: G01B7/14
- IPC分类号: G01B7/14
摘要:
本发明的目的在于提供一种即使等离子体的产生状况变化,也能够高精度地检测出喷嘴与工作物之间的间隙的间隙检测装置。设置对通过了中心电极电缆(4)的合成信号的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分进行检波的检波部件(8),根据由该检波部件(8)检波出的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分,生成与喷嘴(5)和工作物(6)间的间隙对应的检测信号。由此,即使等离子体的产生状况变化,也能够高精度地检测出喷嘴(5)与工作物(6)之间的间隙。
公开/授权文献
- CN100406840C 间隙检测装置 公开/授权日:2008-07-30