发明公开
CN1877245A 间隙检测装置 失效 - 权利终止

间隙检测装置
摘要:
本发明的目的在于提供一种即使等离子体的产生状况变化,也能够高精度地检测出喷嘴与工作物之间的间隙的间隙检测装置。设置对通过了中心电极电缆(4)的合成信号的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分进行检波的检波部件(8),根据由该检波部件(8)检波出的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分,生成与喷嘴(5)和工作物(6)间的间隙对应的检测信号。由此,即使等离子体的产生状况变化,也能够高精度地检测出喷嘴(5)与工作物(6)之间的间隙。
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