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公开(公告)号：CN112203797A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201880093079.3
申请日：2018-05-07
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： B23K26/382 , B23K26/03
摘要： 激光加工机(100)由下述部分构成：激光振荡器(1)，其射出激光(4)；加工头(5)，其通过照射激光(4)而对工件(9)进行激光加工；控制装置(10)，其对激光振荡器(1)及加工头(5)进行控制；光传感器(8)，其对激光(4)照射至工件(9)时产生的来自工件(9)的散射光进行测定而输出与散射光相对应的信号；阈值设定部(14)，其基于在穿孔加工开始后的一定期间输出的信号，对成为通过穿孔加工而孔是否贯通工件(9)的判定基准的阈值进行设定；以及贯通判定部(13)，其基于信号及阈值，对孔是否贯通工件(9)进行判定。
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公开(公告)号：CN101089546B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200610164231.1
申请日：2006-12-05
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： B23K26/04
摘要： 本发明提供能够高精度地检测输出激光加工机中的激光的喷头与加工对象物之间的间隙的激光加工用的间隙检测装置及方法、激光加工用系统。信号处理单元(24)求间隙静电电容Cg与等离子阻抗Zp的合成阻抗Z的倒数，从该倒数的虚部求作为间隙静电电容Cg与等离子阻抗中包含的静电电容成分之和的合成静电电容，从该倒数的实部求等离子阻抗中包含的电阻成分，间隙检测装置(20)使用表现等离子阻抗的倒数的特性的模型和电阻成分求静电电容成分，从合成静电电容减去该静电电容成分求间隙静电电容Cg，间隙检测装置(20)从所求出的间隙静电电容Cg求间隙。
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公开(公告)号：CN101089546A
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN200610164231.1
申请日：2006-12-05
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： B23K26/04
摘要： 本发明提供能够高精度地检测输出激光加工机中的激光的喷头与加工对象物之间的间隙的激光加工用的间隙检测装置及方法、激光加工用系统。信号处理单元(24)求间隙静电电容Cg与等离子阻抗Zp的合成阻抗Z的倒数，从该倒数的虚部求作为间隙静电电容Cg与等离子阻抗中包含的静电电容成分之和的合成静电电容，从该倒数的实部求等离子阻抗中包含的电阻成分，间隙检测装置(20)使用表现等离子阻抗的倒数的特性的模型和电阻成分求静电电容成分，从合成静电电容减去该静电电容成分求间隙静电电容Cg，间隙检测装置(20)从所求出的间隙静电电容Cg求间隙。
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公开(公告)号：CN106163723A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201580001534.9
申请日：2015-03-13
申请人： 三菱电机株式会社
发明人： 大村浩嘉
IPC分类号： B23K26/046
CPC分类号： B23K26/046
摘要： 一种激光加工装置(10)，其基于校正数据，对加工喷嘴(2)和工件(5)之间的距离进行控制而执行激光加工，该校正数据对测定所述加工喷嘴和所述工件之间的静电电容的传感器的输出值、和所述加工喷嘴与所述工件之间的距离的关系进行了规定，该激光加工装置(10)在所述工件的表面上的第1部位处，基于第1校正数据对所述加工喷嘴的铅垂方向的位置进行调整，在所述工件的表面上的与所述第1部位不同的第2部位处，基于与所述第1校正数据不同的第2校正数据而对所述加工喷嘴的铅垂方向的位置进行调整。
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公开(公告)号：CN100406840C
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200510022847.0
申请日：2005-12-12
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： G01B7/14
CPC分类号： G01B7/023
摘要： 本发明的目的在于提供一种即使等离子体的产生状况变化，也能够高精度地检测出喷嘴与工作物之间的间隙的间隙检测装置。设置对通过了中心电极电缆(4)的合成信号的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分进行检波的检波部件(8)，根据由该检波部件(8)检波出的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分，生成与喷嘴(5)和工作物(6)间的间隙对应的检测信号。由此，即使等离子体的产生状况变化，也能够高精度地检测出喷嘴(5)与工作物(6)之间的间隙。
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公开(公告)号：CN112203797B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN201880093079.3
申请日：2018-05-07
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： B23K26/382 , B23K26/03
摘要： 激光加工机(100)由下述部分构成：激光振荡器(1)，其射出激光(4)；加工头(5)，其通过照射激光(4)而对工件(9)进行激光加工；控制装置(10)，其对激光振荡器(1)及加工头(5)进行控制；光传感器(8)，其对激光(4)照射至工件(9)时产生的来自工件(9)的散射光进行测定而输出与散射光相对应的信号；阈值设定部(14)，其基于在穿孔加工开始后的一定期间输出的信号，对成为通过穿孔加工而孔是否贯通工件(9)的判定基准的阈值进行设定；以及贯通判定部(13)，其基于信号及阈值，对孔是否贯通工件(9)进行判定。
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公开(公告)号：CN106163723B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201580001534.9
申请日：2015-03-13
申请人： 三菱电机株式会社
发明人： 大村浩嘉
IPC分类号： B23K26/046
CPC分类号： B23K26/046
摘要： 一种激光加工装置(10)，其基于校正数据，对加工喷嘴(2)和工件(5)之间的距离进行控制而执行激光加工，该校正数据对测定所述加工喷嘴和所述工件之间的静电电容的传感器的输出值、和所述加工喷嘴与所述工件之间的距离的关系进行了规定，该激光加工装置(10)在所述工件的表面上的第1部位处，基于第1校正数据对所述加工喷嘴的铅垂方向的位置进行调整，在所述工件的表面上的与所述第1部位不同的第2部位处，基于与所述第1校正数据不同的第2校正数据而对所述加工喷嘴的铅垂方向的位置进行调整。
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公开(公告)号：CN1877245A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200510022847.0
申请日：2005-12-12
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： G01B7/14
CPC分类号： G01B7/023
摘要： 本发明的目的在于提供一种即使等离子体的产生状况变化，也能够高精度地检测出喷嘴与工作物之间的间隙的间隙检测装置。设置对通过了中心电极电缆(4)的合成信号的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分进行检波的检波部件(8)，根据由该检波部件(8)检波出的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分，生成与喷嘴(5)和工作物(6)间的间隙对应的检测信号。由此，即使等离子体的产生状况变化，也能够高精度地检测出喷嘴(5)与工作物(6)之间的间隙。
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