本发明提供了一种受激准分子灯，能够防止受激准分子灯的石英玻璃制放电容器产生由紫外线劣化引起的裂纹，延长灯具寿命。在受激准分子灯的石英玻璃制的内管(1)的外侧圆筒面上涂布含有紫外线吸收物质的溶剂。使溶剂干燥来形成紫外线吸收物质的膜，之后以大于等于900℃且小于等于内管的软化点的温度进行热处理，使紫外线吸收物质从内管的外侧圆筒面扩散到石英玻璃内。进行氟酸清洗来去除紫外线吸收物质的膜。扩散物质是Ti、Ce以及Zr中的任意1种以上的物质。扩散浓度在接近放电空间的侧变浓。可防止紫外线入射到内管(1)中，可延长灯具寿命。