结晶生长晶体的质量评价方法
摘要:
本发明提供结晶生长晶体的质量评价方法,包括确定切断位置和取样位置的步骤和试样评价步骤,前一步骤包括:a)确定试样位置,输入按照不同装备、不同制品确定切断位置、取样位置和最初位置的基本信息;b)按基本信息预先确定切断位置、最初位置和取样位置;c)监控晶体生长过程,分析和保存与晶体的生长相关的X因素;d)反映基本信息和X因素,确定切断位置和取样位置。这样,在选择分辨监控的影响晶体质量的主要因素(X因素)后,以进行统一对比和分析为基础,制定确定切断位置和取样位置、取样数的规则,使剩余检验和不使用的最初的量最小化,把数据制作成数据库,用自动化系统构建切断和取样业务,可以使操作人员和现场的业务量减少。
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