制造半导体器件的方法

Invention Publication

CN1917187A 制造半导体器件的方法失效 - 权利终止

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Patent Title: 制造半导体器件的方法
Patent Title (English): Method for making semiconductor device
Application No.: CN200610101661.9

Application Date: 1995-04-22
Publication No.: CN1917187A

Publication Date: 2007-02-21
Inventor: 小山润 , 河崎祐司
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
Applicant Address: 日本神奈川县厚木市
Assignee: 株式会社半导体能源研究所
Current Assignee: 株式会社半导体能源研究所
Current Assignee Address: 日本神奈川县厚木市
Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
Agent 张志醒
Priority: 107573/1994 1994.04.22 JP
The original application number of the division: 2004100557929
Main IPC: H01L21/84
IPC: H01L21/84 ; G02F1/1362

Abstract:

每根数据线的数据保持控制信号提供给并联在一起的多个源极跟随器。并联的源极跟随器是至少一个只用激光照射一次的第一跟随器和至少一个照射两次的第二跟随器的组合。用于结晶的激光照射的宽度等于源极跟随器的间隔乘以一个不小于3的整数。

Public/Granted literature

CN1917187B 制造半导体器件的方法 Public/Granted day:2010-11-17

Information query

Chinese Patent Announcement Espacenet

IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70	.由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造（由预制电组件组成的组装件的制造入H05K3/00，H05K13/00）
H01L21/77	..在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理（电可编程只读存储器或其多步骤的制造方法入H01L27/115）
H01L21/78	...把衬底连续地分成多个独立的器件（改变表面物理特性或者半导体形状的切割入H01L21/304）
H01L21/82	....制造器件，例如每一个由许多元件组成的集成电路
H01L21/84	.....衬底不是半导体的，例如绝缘体