纳米晶体金刚石薄膜、其制造方法及使用纳米晶体金刚石薄膜的装置
摘要:
一种在基体上合成的纳米晶体金刚石薄膜,该薄膜包含晶粒直径为1nm~小于1000nm的纳米晶体金刚石作为其主要成分。可以使用含有烃和氢的原料气体通过等离子体CVD方法在基体上形成纳米晶体金刚石薄膜,使纳米晶体金刚石薄膜的形成发生在等离子体区域的外面。该纳米晶体金刚石薄膜可用于制造电化学器件、电化学电极、DNA芯片、有机场致发光器件、有机光电接收器件、有机薄膜晶体管、冷电子发射器件、燃料电池和催化剂。
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