Utility Model
- Patent Title: 用于晶圆盒机台载物台的条形挡板
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Application No.: CN201020117725.6Application Date: 2010-02-24
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Publication No.: CN201611650UPublication Date: 2010-10-20
- Inventor: 诸俊
- Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Applicant Address: 上海市张江路18号
- Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Current Assignee: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- Current Assignee Address: 上海市张江路18号
- Agency: 上海思微知识产权代理事务所
- Agent 屈蘅; 李时云
- Main IPC: H01L21/673
- IPC: H01L21/673 ; H01L21/677

Abstract:
本实用新型提供一种用于晶圆盒机台载物台的条形挡板,所述条形挡板固定在所述晶圆盒的机台载物台的侧面,所述条形挡板包括:阻挡部件,所述阻挡部件的中心线与所述机台载物台的底面平行,所述阻挡部件与所述机台载物支撑柱的顶部位于同一高度;设置于所述阻挡部件两端的第一连接部件、第二连接部件;与第一连接部件、第二连接部件分别连接的第一固定部件和第二固定部件。综上所述,用于晶圆盒机台载物台的条形挡板可以有效解决检测装置检测晶圆盒内晶圆时无法设置起始点的问题,并且所述条形挡板形状简单,材料常见,故易于制作且成本低廉。
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