用于晶圆盒机台载物台的条形挡板
Abstract:
本实用新型提供一种用于晶圆盒机台载物台的条形挡板,所述条形挡板固定在所述晶圆盒的机台载物台的侧面,所述条形挡板包括:阻挡部件,所述阻挡部件的中心线与所述机台载物台的底面平行,所述阻挡部件与所述机台载物支撑柱的顶部位于同一高度;设置于所述阻挡部件两端的第一连接部件、第二连接部件;与第一连接部件、第二连接部件分别连接的第一固定部件和第二固定部件。综上所述,用于晶圆盒机台载物台的条形挡板可以有效解决检测装置检测晶圆盒内晶圆时无法设置起始点的问题,并且所述条形挡板形状简单,材料常见,故易于制作且成本低廉。
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