实用新型
- 专利标题: 用于准分子激光微细加工的像方远心直写投影成像物镜
- 专利标题(英): Image space telecentric direct-writing project imaging lens for quasi-molecular laser micro processing
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申请号: CN201020183365.X申请日: 2010-04-30
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公开(公告)号: CN201698080U公开(公告)日: 2011-01-05
- 发明人: 陈涛 , 王桐 , 左铁钏 , 鲍勇 , 吴坚
- 申请人: 北京工业大学
- 申请人地址: 北京市朝阳区平乐园100号
- 专利权人: 北京工业大学
- 当前专利权人: 北京工业大学
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区平乐园100号
- 代理机构: 北京思海天达知识产权代理有限公司
- 代理商 张慧
- 主分类号: G02B13/22
- IPC分类号: G02B13/22 ; B23K26/00
摘要:
本实用新型是一种用于准分子激光微细加工的像方远心直写投影成像物镜,属于激光微细加工及其应用技术领域。物方视场与像方视场成缩小比例。物方视场范围内,除轴上主光线外,所有主光线以一定角度入射投影物面;像方视场范围内,所有主光线垂直入射成像像面。结构形式分为两部分:第一部分由一片熔石英透镜构成,该透镜采用双凸的透镜结构形式。第二部分由四片熔石英透镜构成,第一片采用双凸的透镜结构形式,第二片采用左凹右凸的透镜结构形式,第三片采用双凸的透镜结构形式,第四片采用左凸右凹透镜结构形式。本实用新型有效改善了准分子激光微细加工用常规直写投影成像物镜所造成的被加工工件加工下表面图形相对于加工上表面图形向光轴外侧偏离的情况。