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公开(公告)号：CN101846794B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201010166769.2
申请日：2010-04-30
申请人： 北京工业大学
摘要： 本发明是一种准分子激光微细加工用的像方远心直写投影成像物镜，属于激光微细加工及其应用技术领域。物方视场与像方视场成缩小比例。物方视场范围内，除轴上主光线外，所有主光线以一定角度入射投影物面；像方视场范围内，所有主光线垂直入射成像像面。结构形式分为两部分：第一部分由一片熔石英透镜构成，该透镜采用双凸的透镜结构形式。第二部分由四片熔石英透镜构成，第一片采用双凸的透镜结构形式，第二片采用左凹右凸的透镜结构形式，第三片采用双凸的透镜结构形式，第四片采用左凸右凹透镜结构形式。本发明有效改善了准分子激光微细加工用常规直写投影成像物镜所造成的被加工工件加工下表面图形相对于加工上表面图形向光轴外侧偏离的情况。
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公开(公告)号：CN101995664B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201010285845.1
申请日：2010-09-17
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： G02B27/09
摘要： 本发明公开一种输出为均匀线光斑的激光光束变换整形器，是一种将光斑形状不规则、能量分布不均匀的激光光束经过变换整形为能量均匀分布、光斑形状近似为一条线的激光光束的光学系统，主要应用于激光抛光、激光清洗、激光致材料表面改性，属于激光表面处理技术及其应用领域。本发明包括七个部分：由多个圆透镜或柱透镜组成的第一部分望远镜系统，由分别具有N个柱透镜的柱透镜阵列构成的第二、第三、第四、第五部分，由两片母线相互垂直的柱透镜构成的第六部分，由柱透镜或柱透镜组合构成的第七部分。本发明将入射激光变换整形为光斑能量分布均匀的线型激光光斑，配合工作台的快速移动，大大提高了激光抛光、激光清洗和激光致材料表面改性的效率。
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公开(公告)号：CN101846794A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010166769.2
申请日：2010-04-30
申请人： 北京工业大学
摘要： 本发明是一种准分子激光微细加工用的像方远心直写投影成像物镜，属于激光微细加工及其应用技术领域。物方视场与像方视场成缩小比例。物方视场范围内，除轴上主光线外，所有主光线以一定角度入射投影物面；像方视场范围内，所有主光线垂直入射成像像面。结构形式分为两部分：第一部分由一片熔石英透镜构成，该透镜采用双凸的透镜结构形式。第二部分由四片熔石英透镜构成，第一片采用双凸的透镜结构形式，第二片采用左凹右凸的透镜结构形式，第三片采用双凸的透镜结构形式，第四片采用左凸右凹透镜结构形式。本发明有效改善了准分子激光微细加工用常规直写投影成像物镜所造成的被加工工件加工下表面图形相对于加工上表面图形向光轴外侧偏离的情况。
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公开(公告)号：CN102280511A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110242366.6
申请日：2011-08-23
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： H01L31/052 , H01L31/0232
CPC分类号： Y02E10/52
摘要： 一种密集阵列式聚光太阳能光伏装置，属于光伏领域，其包括菲涅耳透镜阵列、平面基板和至少两块光电池；所述菲涅耳透镜阵列处于顶层；所述菲涅耳透镜阵列为一块整体透镜，上表面为平面，下表面有至少两组成同心圆环状的锯齿；每组同心圆环形成一个菲涅耳透镜，所有菲涅耳透镜组成阵列形式；所述平面基板设置于底层；所述至少两块光电池设置于所述平面基板上表面并排布为光电池阵列形式，所述光电池阵列中的光电池数目和所述菲涅耳透镜阵列中的菲涅耳透镜数相同，且每块光电池对应一个菲涅耳透镜。本发明所提供的阵列式聚光太阳能光伏装置散热简单、聚光焦距短、太阳能利用率高且光电池芯片内部无需排布电极。
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公开(公告)号：CN101995664A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010285845.1
申请日：2010-09-17
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： G02B27/09
摘要： 本发明公开一种输出为均匀线光斑的激光光束变换整形器，是一种将光斑形状不规则、能量分布不均匀的激光光束经过变换整形为能量均匀分布、光斑形状近似为一条线的激光光束的光学系统，主要应用于激光抛光、激光清洗、激光致材料表面改性，属于激光表面处理技术及其应用领域。本发明包括七个部分：由多个圆透镜或柱透镜组成的第一部分望远镜系统，由分别具有N个柱透镜的柱透镜阵列构成的第二、第三、第四、第五部分，由两片母线相互垂直的柱透镜构成的第六部分，由柱透镜或柱透镜组合构成的第七部分。本发明将入射激光变换整形为光斑能量分布均匀的线型激光光斑，配合工作台的快速移动，大大提高了激光抛光、激光清洗和激光致材料表面改性的效率。
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公开(公告)号：CN201903689U
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201020535668.3
申请日：2010-09-17
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： G02B13/22
摘要： 本实用新型公开了一种准分子激光微细加工用的像方远心直写投影成像物镜，属于激光微细加工及其应用技术领域。物方视场范围内，除轴上主光线，所有主光线以一定角度入射投影物面；像方视场范围内，所有主光线垂直入射成像像面。结构为两部分：第一部分由一片双凸透镜构成。第二部分由五片透镜构成：第一片为双凹透镜，第二片为左凹右凸透镜，第三片为左凸右凹透镜，第四片为双凸的透镜，第五片为双凸透镜，两部分之间放置光栅。本实用新型改善了直写投影成像物镜造成的被加工工件加工下表面图形相对于上表面图形向光轴外侧偏离的情况，通过第二部分第二片透镜对入射光线发散作用，扩大投影成像物镜的物方视场范围，提高了准分子激光微细加工效率。
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公开(公告)号：CN201698080U
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201020183365.X
申请日：2010-04-30
申请人： 北京工业大学
摘要： 本实用新型是一种用于准分子激光微细加工的像方远心直写投影成像物镜，属于激光微细加工及其应用技术领域。物方视场与像方视场成缩小比例。物方视场范围内，除轴上主光线外，所有主光线以一定角度入射投影物面；像方视场范围内，所有主光线垂直入射成像像面。结构形式分为两部分：第一部分由一片熔石英透镜构成，该透镜采用双凸的透镜结构形式。第二部分由四片熔石英透镜构成，第一片采用双凸的透镜结构形式，第二片采用左凹右凸的透镜结构形式，第三片采用双凸的透镜结构形式，第四片采用左凸右凹透镜结构形式。本实用新型有效改善了准分子激光微细加工用常规直写投影成像物镜所造成的被加工工件加工下表面图形相对于加工上表面图形向光轴外侧偏离的情况。
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公开(公告)号：CN202259382U
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201120307848.0
申请日：2011-08-23
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： H01L31/052
CPC分类号： Y02E10/52
摘要： 一种密集阵列式聚光太阳能光伏装置，属于光伏领域，其包括菲涅耳透镜阵列、平面基板和至少两块光电池；所述菲涅耳透镜阵列处于顶层；所述菲涅耳透镜阵列为一块整体透镜，上表面为平面，下表面有至少两组成同心圆环状的锯齿；每组同心圆环形成一个菲涅耳透镜，所有菲涅耳透镜组成阵列形式；所述平面基板设置于底层；所述至少两块光电池设置于所述平面基板上表面并排布为光电池阵列形式，所述光电池阵列中的光电池数目和所述菲涅耳透镜阵列中的菲涅耳透镜数相同，且每块光电池对应一个菲涅耳透镜。本实用新型所提供的阵列式聚光太阳能光伏装置散热简单、聚光焦距短、太阳能利用率高且光电池芯片内部无需排布电极。
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公开(公告)号：CN201903697U
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201020535698.4
申请日：2010-09-17
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： G02B27/09
摘要： 本实用新型公开了一种输出为均匀线光斑的激光光束变换整形器，是一将光斑形状不规则、能量分布不均匀的激光光束经变换整形为能量均匀分布、光斑形状近似为一条线的激光光束的光学系统，可应用于激光抛光、激光清洗、激光致材料表面改性，属于激光表面处理技术及应用领域。本实用新型包括七个部分：由多个圆透镜或柱透镜组成的第一部分望远镜系统，由分别具有N个柱透镜的柱透镜阵列构成的第二、第三、第四、第五部分，由两片母线相互垂直的柱透镜构成的第六部分，由柱透镜或柱透镜组合构成的第七部分。本实用新型将入射激光变换整形为光斑能量分布均匀的线型激光光斑，配合工作台快速移动，提高了激光抛光、激光清洗和激光致材料表面改性的效率。
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