Utility Model
CN201868460U 一种推片器的石英舟升降装置
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种推片器的石英舟升降装置
- Patent Title (English): Quartz boat lifting device of wafer pusher
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Application No.: CN201020505619.5Application Date: 2010-08-26
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Publication No.: CN201868460UPublication Date: 2011-06-15
- Inventor: 朱道峰 , 高毅 , 庄甦 , 黄萍 , 王国华 , 周祖武 , 赵剑京 , 张洪建
- Applicant: 北京市塑料研究所
- Applicant Address: 北京市西城区旧鼓楼大街47号
- Assignee: 北京市塑料研究所
- Current Assignee: 北京市塑料研究所
- Current Assignee Address: 北京市西城区旧鼓楼大街47号
- Agency: 北京金之桥知识产权代理有限公司
- Agent 朱黎光
- Main IPC: H01L31/18
- IPC: H01L31/18

Abstract:
一种推片器的石英舟升降装置,包括:转轴、椭圆转轮和控制所述转轴旋转的拨动装置;以及承载石英舟和硅片承载花篮的底座;其中,在所述底座对应石英舟放置的位置上设置有至少两排通孔和两排贯穿底座的空腔,空腔穿过所述通孔,转轴设置在空腔内,并且对应通孔的位置上设置有椭圆转轮。
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IPC分类: