一种推片器的石英舟升降装置
Abstract:
一种推片器的石英舟升降装置,包括:转轴、椭圆转轮和控制所述转轴旋转的拨动装置;以及承载石英舟和硅片承载花篮的底座;其中,在所述底座对应石英舟放置的位置上设置有至少两排通孔和两排贯穿底座的空腔,空腔穿过所述通孔,转轴设置在空腔内,并且对应通孔的位置上设置有椭圆转轮。
Patent Agency Ranking
0/0