一种硅片推片器
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201838568U

    公开(公告)日:2011-05-18

    申请号:CN201020273872.2

    申请日:2010-07-28

    IPC分类号: H01L21/677 H01L31/18

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 一种硅片推片器,包括:支撑一个石英舟和一个硅片装载花篮的底座、等间距设置有多个推齿的推齿片、推板、拉杆、导向滑轨和连接部件,其中,所述推齿片分别安装在推板相对的侧面,导向滑轨固定在底座底部,拉杆设置在导向滑轨上,所述连接部件的一端连接推板,另一端连接拉杆。将硅片承载花篮和装有硅片的石英舟同时固定安装在推片器的底座上,推片器的推齿分别对准放置在石英舟中的硅片,移动拉杆,拉杆通过连接部件拉动推板移动,推板带动推齿片推动石英舟的硅片倒入硅片承载花篮。在硅片倒片时,避免手指接触硅片表面,防止硅片污染和破损,并且硅片能够同时被推入硅片承载花篮,提高倒片效率。

    硅片承载花篮
    5.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201708141U

    公开(公告)日:2011-01-12

    申请号:CN201020245649.7

    申请日:2010-06-22

    IPC分类号: H01L21/683

    摘要: 本实用新型公开了一种硅片承载花篮,其包括:第一端板和第二端板,两者平行设置;插片杆,设置在所述第一端板和第二端板相对面上的两侧;所述插片杆上设置有呈直线排列的若干锯齿,相邻的锯齿之间形成硅片插槽;支撑杆,设置在所述第一端板和第二端板之间、两端板相对面的下方。本实用新型硅片承载花篮两侧设计插片杆,便于在与硅片送入装置配合使用时,硅片能够顺利送入承载花篮;插片杆与端板采用销钉连接方式,且销钉带螺纹,保证硅片承载花篮整体的牢固、稳定;两侧端板带有锥钉和锥孔,便于硅片承载花篮叠放时定位和固定,提高硅片处理效率和硅片承载花篮静置时的空间利用率;两侧平行端板周边采用斜面设计,以减少液体的积存。