公开(公告)号：CN201868460U

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201020505619.5

申请日：2010-08-26

申请人： 北京市塑料研究所

发明人： 朱道峰 ,  高毅 ,  庄甦 ,  黄萍 ,  王国华 ,  周祖武 ,  赵剑京 ,  张洪建

IPC分类号： H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 一种推片器的石英舟升降装置，包括：转轴、椭圆转轮和控制所述转轴旋转的拨动装置；以及承载石英舟和硅片承载花篮的底座；其中，在所述底座对应石英舟放置的位置上设置有至少两排通孔和两排贯穿底座的空腔，空腔穿过所述通孔，转轴设置在空腔内，并且对应通孔的位置上设置有椭圆转轮。

公开(公告)号：CN201838568U

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN201020273872.2

申请日：2010-07-28

申请人： 北京市塑料研究所

发明人： 朱道峰 ,  高毅 ,  黄萍 ,  王国华 ,  周祖武 ,  赵剑京 ,  张洪建

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 一种硅片推片器，包括：支撑一个石英舟和一个硅片装载花篮的底座、等间距设置有多个推齿的推齿片、推板、拉杆、导向滑轨和连接部件，其中，所述推齿片分别安装在推板相对的侧面，导向滑轨固定在底座底部，拉杆设置在导向滑轨上，所述连接部件的一端连接推板，另一端连接拉杆。将硅片承载花篮和装有硅片的石英舟同时固定安装在推片器的底座上，推片器的推齿分别对准放置在石英舟中的硅片，移动拉杆，拉杆通过连接部件拉动推板移动，推板带动推齿片推动石英舟的硅片倒入硅片承载花篮。在硅片倒片时，避免手指接触硅片表面，防止硅片污染和破损，并且硅片能够同时被推入硅片承载花篮，提高倒片效率。