实用新型
CN202839557U 一种带显示功能的反应机台
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种带显示功能的反应机台
- 专利标题(英): Reaction machine with display function
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申请号: CN201220448808.2申请日: 2012-09-05
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公开(公告)号: CN202839557U公开(公告)日: 2013-03-27
- 发明人: 刘忠笃
- 申请人: 中微半导体设备(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
- 专利权人: 中微半导体设备(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中微半导体设备(上海)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
- 代理机构: 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 王洁
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/66
摘要:
本实用新型公开了一种带显示功能的反应机台,所述反应机台在所述外壁外表面设置一显示装置,用于将反应机台的反应腔内部参数以图案或色彩的方式醒目的显示在显示装置上,使得反应机台的操作人员在较远距离和不同角度都可以直观的观察到反应腔内参数的变化,便于操作人员对反应制程进行跟踪和修改。本实用新型的显示装置作为辅助显示,将反应腔内重要的工艺参数在显示装置上进行显示。同时该反应机台的控制装置还包括一可编辑的输入端口,所述可编辑的输入端口根据用户需求,可以输入不同的显示参数指令,从而可以实现在所述显示装置上自定义显示反应腔内不同参数情况。
IPC分类: