铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置
摘要:
一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置,用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化,包括退火炉、盖体及加热灯管;所述退火炉为盒状结构,所述退火炉包括开口端;所述盖体可转动地连接于所述退火炉的开口端,所述退火炉与所述盖体共同围成密闭的退火腔;所述加热灯管收容于所述退火腔中,并设置于所述盖体上。上述铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置中,加热灯管收容于退火腔中,退火腔密封且体积较小,使得退火腔中的温度较高,提高了硒的蒸汽压,节省了硒或硫的用料,降低了成本。同时,加热灯管更靠近基片,具有较高的升温速率,保证所得铜铟镓硒薄膜的质量。
0/0