实用新型
CN203038961U 铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置
- 专利标题(英): Copper indium gallium selenide thin-film solar battery annealing device
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申请号: CN201220729897.8申请日: 2012-12-26
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公开(公告)号: CN203038961U公开(公告)日: 2013-07-03
- 发明人: 宋秋明 , 张军 , 李朝辉 , 顾光一 , 陈旺寿 , 方刚 , 谭兴 , 吕文博 , 肖旭东
- 申请人: 深圳先进技术研究院 , 香港中文大学
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
- 专利权人: 深圳先进技术研究院,香港中文大学
- 当前专利权人: 深圳先进技术研究院,香港中文大学
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 吴平
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L21/324
摘要:
一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置,用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化,包括退火炉、盖体及加热灯管;所述退火炉为盒状结构,所述退火炉包括开口端;所述盖体可转动地连接于所述退火炉的开口端,所述退火炉与所述盖体共同围成密闭的退火腔;所述加热灯管收容于所述退火腔中,并设置于所述盖体上。上述铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置中,加热灯管收容于退火腔中,退火腔密封且体积较小,使得退火腔中的温度较高,提高了硒的蒸汽压,节省了硒或硫的用料,降低了成本。同时,加热灯管更靠近基片,具有较高的升温速率,保证所得铜铟镓硒薄膜的质量。
IPC分类: