公开(公告)号：CN203038961U

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201220729897.8

申请日：2012-12-26

申请人： 深圳先进技术研究院 ,  香港中文大学

发明人： 宋秋明 ,  张军 ,  李朝辉 ,  顾光一 ,  陈旺寿 ,  方刚 ,  谭兴 ,  吕文博 ,  肖旭东

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L21/324

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置，用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化，包括退火炉、盖体及加热灯管；所述退火炉为盒状结构，所述退火炉包括开口端；所述盖体可转动地连接于所述退火炉的开口端，所述退火炉与所述盖体共同围成密闭的退火腔；所述加热灯管收容于所述退火腔中，并设置于所述盖体上。上述铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置中，加热灯管收容于退火腔中，退火腔密封且体积较小，使得退火腔中的温度较高，提高了硒的蒸汽压，节省了硒或硫的用料，降低了成本。同时，加热灯管更靠近基片，具有较高的升温速率，保证所得铜铟镓硒薄膜的质量。