实用新型
- 专利标题: 一种靶材组件
- 专利标题(英): Target assembly
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申请号: CN201621320020.8申请日: 2016-12-02
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公开(公告)号: CN206298637U公开(公告)日: 2017-07-04
- 发明人: 刘志杰 , 于海洋 , 杨永刚 , 王永辉 , 章程 , 王伟华 , 王绍帅 , 李建强
- 申请人: 有研亿金新材料有限公司
- 申请人地址: 北京市昌平区超前路33号
- 专利权人: 有研亿金新材料有限公司
- 当前专利权人: 有研亿金新材料有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区超前路33号
- 代理机构: 北京众合诚成知识产权代理有限公司
- 代理商 陈波
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35
摘要:
本实用新型涉及一种靶材组件,包括靶材(1)与背板(3),在背板(3)的表面加工有凸台(4),靶材(1)连接在所述凸台(4)上。本实用新型对靶材组件的结构进行了优化,保证在焊接面处无脆性材料残留,从而达到后续加工时不产生崩边和压伤的目的,保证产品质量和加工效率。
IPC分类: