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公开(公告)号：CN106493525A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201611206163.0
申请日：2016-12-23
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B23P15/00
CPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明公开了一种溅射钛环的制备方法，属于钛金属制品加工技术领域。选用纯度99.95％以上Ti铸锭经锻造、轧制、热处理、校平和机加工后制成钛板条；去除表面脏污后，用激光雕刻钛板条各表面；然后用卷圆机将雕刻后的钛板条卷圆成钛环；清洗烘干后得到溅射钛环。采用高温热处理工艺加工的Ti板条，卷圆后应力小；采用激光雕刻，可按需要加工出各式纹路，提高了产品使用品质，保证了产品质量稳定一致，同时提高了工作效率，降低了成本。
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公开(公告)号：CN204643536U
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201520241026.5
申请日：2015-04-20
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B66C1/02
摘要： 本实用新型属于金属材料加工和微电子材料制造领域，涉及一种大尺寸靶材吊运装置，包括：主横梁、支撑梁、气动吸盘、销轴、气动控制开关、气源系统。通过主横梁和支撑梁进行快速组合，形成不同长度和宽度的工装。与现有吊运工装相比，增加了气动吸盘，降低了零件吊运时的磕碰划伤，获得了更好的零件表面质量。并且对吸盘进行了合理布局，在零件重心位置增加吸盘数量，有效的缓解了零件在吊运过程中的变形问题，可以获得平面度更好的靶材。结构简单，可以任意组合，根据所需吊运的零件快速组合成所需工装，减少了专用工装数量，降低了工装成本。
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公开(公告)号：CN207487542U
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201721391468.3
申请日：2017-10-25
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种磁控溅射环的尺寸检验工装，该检验工装包括：检验圆环体、绝缘陶瓷垫块、绝缘陶瓷筒、绝缘陶瓷垫片、边缘固定销钉和中心固定销钉。该检验工装内径与相应溅射环装机设备的遮挡罩几何尺寸相同。通过溅射环与检验工装的装配、溅射环的开口宽度、溅射环与检验工装的绝缘电阻值来进行溅射环的尺寸检验。磁控溅射环材质为Ti、Ta、Cu等。由于溅射环为开口的弹性环，常规的三坐标、游标卡尺、或影像测量仪等测量方法难以测量准确，而本实用新型涉及的溅射环的尺寸检验工装，尺寸检验结果可靠，从而避免了溅射环产品在客户端安装失效等问题。
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公开(公告)号：CN205996402U
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201621017890.8
申请日：2016-08-30
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了属于靶材制造技术领域的一种钎焊靶材的焊层结构。钎焊靶材的焊层结构是靶材焊接面均为平面；背板焊接面为平底凹槽或凹透镜曲面，周边为窄平面；背板焊接面朝上，靶材焊接面朝下，组成两者中间涂覆钎焊料的焊层。所述钎焊焊料为In及In合金，Sn及Sn合金；靶材材质为W及W合金、Mo及Mo合金、Cr及Cr合金、Ru及Ru合金、Al2O3、MgO等氧化物；所述背板材质为Cu及Cu合金、Al及Al合金、不锈钢、Ti、Mo及Mo合金。本实用新型涉及的焊层结构靶材，焊接工艺简单可控，焊缝美观，有效避免了通常钎焊靶材焊层外周易出现的缺料、焊缝渗水等不利现象。
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公开(公告)号：CN204954431U
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201520706899.9
申请日：2015-09-11
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B23Q3/08
摘要： 本实用新型涉及一种大尺寸靶材机械加工装置。该加工装置中的一体式真空吸盘(1)、定位块(2)、夹紧块(3)安装在底座(4)上。首序加工：开启气动装置一，定位稍(2-1)升起后，将工件吊运至加工装置上靠近定位稍(2-1)，启动气动装置二，夹紧稍(3-1)将工件夹紧后，开始铣削平面；二序加工：工件安装步骤同首序，工件夹紧后开启一体式真空吸盘(1)将工件牢固的吸附在加工装置上，然后关闭气动装置一使定位稍(2-1)下沉于底座4表面以下，同时关闭气动装置二使夹紧稍(3-1)后退留出空隙保证刀具安全通过，精铣下平面以及侧边。该加工装置可以实现不同长度和宽度工件的多道加工工序在同一加工装置上完成。
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公开(公告)号：CN206296376U
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201621169448.7
申请日：2016-11-02
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了属于金属材料加工和微电子材料制造领域的一种球面靶材的模压微调装置。该装置由上压块、下压块、固定工装和横梁组成，上压块背面装有螺纹杆，螺纹杆通过横梁上的螺孔与横梁相连，所述上压块与下压块均为弧面且弧度相同。使用该模压微调装置减少了模具修改次数和模具被车除量，生产成本大为降低；避免了靶材多次重复模压，操作简单，生产效率大幅提高。
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公开(公告)号：CN206286860U
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201621386987.6
申请日：2016-12-16
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B23Q3/06
摘要： 本实用新型涉及一种立车快换装夹装置，包括三爪底座和圆弧附件。所述三爪底座是由三个台阶底座组成，所述台阶底座具有两层台阶，第二层台阶的内侧面为第一定位面，在两层台阶上分别设有第一连接孔。三个圆弧附件与三个台阶底座一一对应；所述圆弧附件为台阶状且具有两层台阶，第二层台阶的内侧面为圆弧夹紧面，三个圆弧附件的圆弧夹紧面的直径均相等；在圆弧附件的底部设有凸台，凸台的外侧面为第二定位面，与所述第一定位面配合进行定位；在圆弧附件的两层台阶上分别设有第二连接孔与所述第一连接孔相对应，以便连接安装。进一步地，所述第一定位面和第二定位面为直径相等的圆弧面，使得定位基准得以加强，定位可靠。
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