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公开(公告)号:CN107805790A
公开(公告)日:2018-03-16
申请号:CN201711123830.3
申请日:2017-11-14
申请人: 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号: C23C14/35
CPC分类号: C23C14/35 , C23C14/3407
摘要: 本发明属于磁控溅射靶材制造技术领域,公开了一种高比面积的靶材组件及其制造方法,所述靶材组件包括靶材和支撑所述靶材的背板,所述背板有接触冷却水区域,该区域有数控铣床等机加工设备加工出的阿基米德螺旋线沟槽。所述背板接触冷却水区域的比表面积从100%增加到150%以上,通过增加背板上接触冷却水区域的表面积及水流导向,可实现对靶材溅射过程产生的热量快速导出,从而降低靶材表面温升,提高镀膜性能。
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公开(公告)号:CN107805790B
公开(公告)日:2024-07-12
申请号:CN201711123830.3
申请日:2017-11-14
申请人: 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号: C23C14/35
摘要: 本发明属于磁控溅射靶材制造技术领域,公开了一种高比面积的靶材组件及其制造方法,所述靶材组件包括靶材和支撑所述靶材的背板,所述背板有接触冷却水区域,该区域有数控铣床等机加工设备加工出的阿基米德螺旋线沟槽。所述背板接触冷却水区域的比表面积从100%增加到150%以上,通过增加背板上接触冷却水区域的表面积及水流导向,可实现对靶材溅射过程产生的热量快速导出,从而降低靶材表面温升,提高镀膜性能。
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公开(公告)号:CN206854799U
公开(公告)日:2018-01-09
申请号:CN201621461049.8
申请日:2016-12-29
申请人: 有研亿金新材料有限公司
摘要: 本实用新型公开了属于焊接模具范围的一种一体式焊接工装。所述一体式焊接工装的本体是由环形侧壁和圆形底组成的圆盘蝶形;圆盘蝶的圆形底为平底,中央开一圆通孔,在环形侧壁的内周面上设有定位台阶和外凸缘,外凸缘的上表面设置上凸缘,在外凸缘的上表面形成一圆环,并在上凸缘上开设有沿周向均布的四个凹槽。通过采用本实用新型提供的一体式焊接工装,既能够实现浸泡式焊接,避免焊缝不连续、出现孔洞等问题,也能够实现定位,从而极大地提高焊接效率。此外,本实用新型提供的一体式焊接工装操作简单,无需装配,能够保证良好的定位精度。
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公开(公告)号:CN207632880U
公开(公告)日:2018-07-20
申请号:CN201721520784.6
申请日:2017-11-14
申请人: 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号: C23C14/35
摘要: 本实用新型属于磁控溅射靶材制造技术领域,公开了一种高比面积的靶材组件,所述靶材组件包括靶材和支撑所述靶材的背板,所述背板有接触冷却水区域,该区域有数控铣床等机加工设备加工出的阿基米德螺旋线沟槽。所述背板接触冷却水区域的比表面积从100%增加到150%以上,通过增加背板上接触冷却水区域的表面积及水流导向,可实现对靶材溅射过程产生的热量快速导出,从而降低靶材表面温升,提高镀膜性能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN206415988U
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201621454404.9
申请日:2016-12-27
申请人: 有研亿金新材料有限公司
摘要: 本实用新型属于金属加工领域,尤其涉及一种用于修复靶材表面缺陷的圆盘打磨装置。为解决传统靶材表面缺陷修复方式经打磨后表面粗糙光泽不均匀,无法满足使用要求以及重新装夹后返修存在二次划伤及氧化的风险的问题。本实用新型提出一种用于修复靶材表面缺陷的圆盘打磨装置,包括台面1、圆形卡盘2、轨道3、打磨杆4、滑块5以及轨道盖板10,其中,打磨杆4包括手柄6、弹簧7、打磨头8以及卡箍9。与传统的手工打磨或重新装夹进行返工的修复方法相比,本实用新型实现了局部打磨,打磨痕迹与修复前的车刀纹保持一致,同时打磨头可根据需要选择不同材质的打磨介质,确保打磨后痕迹与修复前机加工痕迹吻合,可保证打磨后的靶材表面质量。
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