光电二极管器件以及光电二极管探测器
摘要:
公开了光电二极管器件以及光电二极管探测器。根据实施例,一种光电二极管器件可以包括:第一类型重掺杂的衬底,包括彼此相对的第一表面和第二表面,该第一类型重掺杂的衬底充当光电二极管器件的第一电极区域;在衬底的第一表面上生长的外延层,其中,该外延层被第一类型轻掺杂,且衬底中包括沟槽以露出外延层;以及在沟槽内形成的第二类型重掺杂的第二电极区域,其中,该第二电极区域与第一电极区域电隔离。
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