实用新型
CN207244046U 一种石墨加热器及硅晶体生长炉
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种石墨加热器及硅晶体生长炉
- 专利标题(英): Graphite heater and silicon crystal growth stove
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申请号: CN201720897648.2申请日: 2017-07-21
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公开(公告)号: CN207244046U公开(公告)日: 2018-04-17
- 发明人: 孙鹏 , 陈骏 , 张涛 , 刘瑞鸿
- 申请人: 镇江仁德新能源科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省镇江市扬中市经济开发区港隆路998号
- 专利权人: 镇江仁德新能源科技有限公司
- 当前专利权人: 镇江仁德新能源科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省镇江市扬中市经济开发区港隆路998号
- 代理机构: 北京金信知识产权代理有限公司
- 代理商 黄威; 郭迎侠
- 主分类号: C30B29/06
- IPC分类号: C30B29/06 ; C30B30/04
摘要:
本实用新型公开了一种石墨加热器及硅晶体生长炉,所述石墨加热器用于硅晶体生长炉中,所述石墨加热器包括非闭合的环状的加热体,其两端分别形成所述加热体的第一端和第二端,所述加热体上设有至少两个电极脚;所述石墨加热器通过所述电极脚与电源连接,以使所述石墨加热器发热并产生磁场。从而能够抑制硅晶体生长炉中硅熔液对坩埚的壁的冲刷,减少熔体中O、C等杂质的含量,从而获得低含氧碳量的硅晶体,同时还有利于获得平整的固液生长界面。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
IPC分类: