一种石墨加热器及硅晶体生长炉
摘要:
本实用新型公开了一种石墨加热器及硅晶体生长炉,所述石墨加热器用于硅晶体生长炉中,所述石墨加热器包括非闭合的环状的加热体,其两端分别形成所述加热体的第一端和第二端,所述加热体上设有至少两个电极脚;所述石墨加热器通过所述电极脚与电源连接,以使所述石墨加热器发热并产生磁场。从而能够抑制硅晶体生长炉中硅熔液对坩埚的壁的冲刷,减少熔体中O、C等杂质的含量,从而获得低含氧碳量的硅晶体,同时还有利于获得平整的固液生长界面。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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