一种磷化铟单晶生长炉
摘要:
一种磷化铟单晶生长炉,涉及新材料制备技术领域,尤其是一种磷化铟单晶生长炉,该生长炉包括冷却循环系统、加热保温系统和支撑系统;所述冷却循环系统包括腔体、氮气盖和冷却循环水管,所述的腔体顶端和底端均设置有氮气盖,腔体外侧缠绕有冷却循环水管;所述的加热保温系统包括外壳、保温材料、电阻丝和炉膛,外壳包裹在炉膛外侧,保温材料填充在外壳与炉膛之间,电阻丝缠绕在炉膛外侧;加热保温系统下端设置有支撑系统,加热保温系统通过支撑系统支撑在腔体底端的氮气盖上。本实用新型的一种磷化铟单晶生长针对磷化铟单晶生长特点,结构设计合理,能灵活有效地控制磷化铟生长温度和炉内压强,从而保证磷化铟单晶质量。
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