一种自动化硅片传输装置
Abstract:
本实用新型涉硅片运输技术领域,尤其为一种自动化硅片传输装置,包括转动架、安装架、传动座和支撑架,所述安装架内部的下方位置上安装有输料电缸,所述输料电缸的上方位置上安装有转动箱,所述转动箱内部的中间位置上安装有输料电机,所述传动座通过滚珠与输料丝杆连接,所述传动座的左右两侧对称安装有第一运输板和第二运输板,所述安装架下方的左右两侧对称设置有支撑架,两个所述支撑架上方的中间位置上皆设置有转动架,所述转动架通过转轴与支撑架之间转动连接;本实用新型中,通过设置传动座、第一运输板和第二运输板,装置采用双向运输方式,运输效率高,运输质量高,提高了经济效益和运输质量。
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