Utility Model
- Patent Title: 一种自动化硅片传输装置
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Application No.: CN201920168346.0Application Date: 2019-01-30
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Publication No.: CN209418478UPublication Date: 2019-09-20
- Inventor: 邓佳旭
- Applicant: 无锡中环应用材料有限公司
- Applicant Address: 江苏省无锡市宜兴经济开发区东氿大道
- Assignee: 无锡中环应用材料有限公司
- Current Assignee: 无锡中环应用材料有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省无锡市宜兴经济开发区东氿大道
- Agency: 无锡华源专利商标事务所
- Agent 冯智文
- Main IPC: H01L21/677
- IPC: H01L21/677 ; H01L21/683

Abstract:
本实用新型涉硅片运输技术领域,尤其为一种自动化硅片传输装置,包括转动架、安装架、传动座和支撑架,所述安装架内部的下方位置上安装有输料电缸,所述输料电缸的上方位置上安装有转动箱,所述转动箱内部的中间位置上安装有输料电机,所述传动座通过滚珠与输料丝杆连接,所述传动座的左右两侧对称安装有第一运输板和第二运输板,所述安装架下方的左右两侧对称设置有支撑架,两个所述支撑架上方的中间位置上皆设置有转动架,所述转动架通过转轴与支撑架之间转动连接;本实用新型中,通过设置传动座、第一运输板和第二运输板,装置采用双向运输方式,运输效率高,运输质量高,提高了经济效益和运输质量。
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IPC分类: