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公开(公告)号：CN116423686B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310398210.X
申请日：2023-04-14
申请人： 无锡中环应用材料有限公司
摘要： 本发明涉及单晶硅片生产技术领域，公开了一种单晶硅片切片系统及其工艺，包括第一金属板，第一金属板顶端一侧固定连接有第二金属板，切片机构包括有金属杆，两个金属杆一端固定连接在第二金属板一端，两个金属杆侧壁固定连接有两个放置连接架，两个放置连接架侧壁内部开设有第一对接槽，若干第一对接槽内壁活动连接有对接件，两个放置连接架内部开设有若干内槽，若干第一对接槽和若干内槽之间对齐，若干内槽内壁滑动连接有卡接件，若干卡接件内部开设有第二对接槽，若干对接槽内壁滑动连接有对接杆；本发明通过第一对接槽和卡接件实现对接件及其其他连接物快速拆装，实现对调节金刚丝之间的间距，进而调节硅片厚度大小，提高设备的使用效果。
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公开(公告)号：CN116423686A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310398210.X
申请日：2023-04-14
申请人： 无锡中环应用材料有限公司
摘要： 本发明涉及单晶硅片生产技术领域，公开了一种单晶硅片切片系统及其工艺，包括第一金属板，第一金属板顶端一侧固定连接有第二金属板，切片机构包括有金属杆，两个金属杆一端固定连接在第二金属板一端，两个金属杆侧壁固定连接有两个放置连接架，两个放置连接架侧壁内部开设有第一对接槽，若干第一对接槽内壁活动连接有对接件，两个放置连接架内部开设有若干内槽，若干第一对接槽和若干内槽之间对齐，若干内槽内壁滑动连接有卡接件，若干卡接件内部开设有第二对接槽，若干对接槽内壁滑动连接有对接杆；本发明通过第一对接槽和卡接件实现对接件及其其他连接物快速拆装，实现对调节金刚丝之间的间距，进而调节硅片厚度大小，提高设备的使用效果。
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公开(公告)号：CN118456684A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410471772.7
申请日：2024-04-19
申请人： 无锡中环应用材料有限公司
摘要： 本发明涉及硅晶体切割技术领域，提出了一种用于硅片线切割的切割设备，包括硅片切割床主体，所述硅片切割床主体内部的两侧分别嵌设有第一收放机构和第二收放机构，用于带动切割线往返运动。本发明中，第二切割槽补偿板向切割槽方向进给的过程中，在固定式支撑架的拉动下，活塞板于活塞槽内做伸展运动，活塞槽的内部会形成低压环境，并通过透气孔作用在硅片上，使切割下的硅片紧紧地贴附在第二切割槽补偿板上，有利于确保大尺寸硅片的平整度，避免硅片发生桥边和形变，在此过程中，若活塞槽内的低压值较高，在低压力的作用下球形阀向远离斗型罩的方向移动，并通过活动轴定向移动，挤压支撑弹簧使其发生弹性形变。
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公开(公告)号：CN117900576A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410141053.9
申请日：2024-02-01
申请人： 无锡中环应用材料有限公司
摘要： 本发明属于机床技术领域，尤其是一种线切割机床用冷却液循环系统及其工艺，包括冷却液箱和两个导轨，导轨上滑动连接有滑板，两个滑板相互靠近的一侧固定安装有同一个处理箱；本发明通过设置的出液机构，可在通过启动输出泵可将位于冷却液箱内的冷却液抽出，之后经过第一软管输出，接着冷却液可经过连接罩、支撑管后可由喷头喷出，以此能够对冷却液进行稳定输出，以便在对工件进行切割时，能够稳定实现降温冷却。
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公开(公告)号：CN209418478U
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201920168346.0
申请日：2019-01-30
申请人： 无锡中环应用材料有限公司
发明人： 邓佳旭
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683
摘要： 本实用新型涉硅片运输技术领域，尤其为一种自动化硅片传输装置，包括转动架、安装架、传动座和支撑架，所述安装架内部的下方位置上安装有输料电缸，所述输料电缸的上方位置上安装有转动箱，所述转动箱内部的中间位置上安装有输料电机，所述传动座通过滚珠与输料丝杆连接，所述传动座的左右两侧对称安装有第一运输板和第二运输板，所述安装架下方的左右两侧对称设置有支撑架，两个所述支撑架上方的中间位置上皆设置有转动架，所述转动架通过转轴与支撑架之间转动连接；本实用新型中，通过设置传动座、第一运输板和第二运输板，装置采用双向运输方式，运输效率高，运输质量高，提高了经济效益和运输质量。
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公开(公告)号：CN218928270U
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202320118586.6
申请日：2023-02-06
申请人： 无锡中环应用材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种用于单晶硅片切割的温控机构，涉及单晶硅片切割设备结构技术领域，为解决现有的单晶硅片在切割的过程中会产生高温，这样会对单晶硅片的切割造成影响的问题。所述切割室的内部安装有安装箱，所述安装箱的上端安装有推动气缸，所述推动气缸的上方安装有放置座，所述放置座上端的两侧均设置有安装架，所述安装架的一端安装有夹持气缸，所述夹持气缸的一侧安装有夹持座，所述切割室两相对内壁的一侧均设置有转动装置箱，所述转动装置箱的一端设置有转动座，所述转动座的一侧安装有转动辊，所述切割室的上端安装有出水座，所述出水座的下方安装有喷嘴，所述喷嘴的一侧设置有挡板，所述挡板的一侧设置有冷风口。
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公开(公告)号：CN218491291U
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202222078144.1
申请日：2022-08-09
申请人： 无锡中环应用材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种线切机上料用翻转小车，涉及线切机翻转小车技术领域，为解决现有线切机上料主要依靠与之平行的输送带进行输送，该上料方式无法应对不同高度上的多层工位，给用户使用带来不便的问题。所述线切机本体的一侧设置有安装框架；还包括：电动缸，其安装在所述安装框架上端的中间位置处，所述电动缸的伸缩端设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的下端设置有安装架；卷扬机，其安装在所述安装架下表面的中间位置处，所述卷扬机的下端设置有连接绳，所述连接绳的下端设置有连接板；翻转板，其设置在所述卷扬机的下方，且翻转板的后端与连接板固定连接，所述翻转板前端的两侧均设置有转动杆，所述转动杆的一端设置有转动架。
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公开(公告)号：CN217993059U
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202221956928.3
申请日：2022-07-27
申请人： 无锡中环应用材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种带有防护功能的硅片用线切机，包括线切机主体，所述线切机主体的内部开设有工作室，所述工作室的前方设置有防护门，且防护门与线切机主体通过铰链活动连接，还包括固定盒，其设置在所述线切机主体前端的一侧，且固定盒设置有两个，所述固定盒的内部均设置有第一梯形块，所述第一梯形块的一侧均设置有第二梯形块，所述第一梯形块前侧的中间位置处均焊接有拉动杆，所述第二梯形块一侧的中间位置处均焊接有限位块，且限位块和拉动杆的一端均贯穿并延伸至固定盒的外部。该带有防护功能的硅片用线切机可以有效防止硅棒在被切割时废料飞溅伤人现象的发生，同时可以减少切割时噪音的传播，减少噪音污染，营造良好的工作环境。
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公开(公告)号：CN209903639U
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201920168325.9
申请日：2019-01-30
申请人： 无锡中环应用材料有限公司
发明人： 邓佳旭
摘要： 本实用新型涉及切割生产技术领域，尤其为硅片切割生产线冷却液在线循环系统，包括壳体和定位环，所述壳体的顶端右侧转动连接有挡板，所述挡板的左端面固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的后端左侧固定连接有电机，所述电机的主轴末端固定连接有刀片，所述壳体的顶端内侧可拆卸连接有盖板，所述壳体的内侧固定连接有隔板，所述隔板的顶端固定连接有竖直设置的弹簧，所述弹簧的顶端固定连接有曲杆，所述隔板的顶端内侧固定连接有垫圈，所述定位环的顶端固定连接有连接环，本实用新型中，通过设置的水泵、喷头和冷却箱实现了减轻冷却液排污压力，对冷却液回收利用，减少冷却液使用量，减少加工成本，同时降低排污量，有利于保护环境。
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