实用新型

一种防贴片的黑硅制绒装置
摘要:
本实用新型公开了一种防贴片的黑硅制绒装置,包括机械臂、预脱水槽槽体和硅片花篮,所述预脱水槽槽体的顶部设置有开口,机械臂连接硅片花篮,硅片花篮内放置硅片;机械臂包括两组机械杆,两组机械杆分别与硅片花篮相对的两个侧壁连接,两组机械杆之间设置有上下活动的压杆,压杆的底面设置有若干个卡齿;机械臂带动其底部的硅片花篮经预脱水槽槽体顶部的开口纵向运动,压杆向下移动至卡齿将硅片花篮内的若干块硅片依次横向分隔开;本实用新型的装置设置在硅片烘干前的预脱水槽中,通过在提抓承载器的机械臂上增加可上下活动的压杆,在预脱水槽中,压杆放下,分离硅片,机械臂提升硅片的过程中确保硅片不贴片,硅片经过提拉脱水后,压杆上升抽出。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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