一种防贴片的黑硅制绒装置

    公开(公告)号:CN109841704A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201910140983.1

    申请日:2019-02-26

    IPC分类号: H01L31/18 C30B33/10

    摘要: 本发明公开了一种防贴片的黑硅制绒装置,包括机械臂、预脱水槽槽体和硅片花篮,所述预脱水槽槽体的顶部设置有开口,机械臂连接硅片花篮,硅片花篮内放置硅片;机械臂包括两组机械杆,两组机械杆分别与硅片花篮相对的两个侧壁连接,两组机械杆之间设置有上下活动的压杆,压杆的底面设置有若干个卡齿;机械臂带动其底部的硅片花篮经预脱水槽槽体顶部的开口纵向运动,压杆向下移动至卡齿将硅片花篮内的若干块硅片依次横向分隔开;本发明的装置设置在硅片烘干前的预脱水槽中,通过在提抓承载器的机械臂上增加可上下活动的压杆,在预脱水槽中,压杆放下,分离硅片,机械臂提升硅片的过程中确保硅片不贴片,硅片经过提拉脱水后,压杆上升抽出。

    一种湿法黑硅片的高效量产制备方法

    公开(公告)号:CN109980043A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201910145491.1

    申请日:2019-02-27

    IPC分类号: H01L31/18

    摘要: 本发明公开了一种湿法黑硅片的高效量产制备方法,包括以下步骤:步骤一,去除损伤层:采用酸腐蚀或者碱腐蚀的方法,将硅片表面的损伤层去除;步骤二,清洗:将去除损伤层的硅片进行清洗,去除其表面多孔硅或者药液残留;步骤三,磷扩散吸杂:采用浓磷扩散在步骤二得到的硅片表面形成重掺杂区,吸收硅片体内杂质;步骤四,去磷硅玻璃:去除磷扩散后硅片表面形成的磷硅玻璃;步骤五,湿法黑硅制备:采用湿法黑硅工艺制备黑硅片。本发明的方法易于实现量产,去除多晶硅片中的杂质,提高多晶硅的少子寿命,提高电池的转换效率。

    一种干法黑硅片的高效量产制备方法

    公开(公告)号:CN109935645A

    公开(公告)日:2019-06-25

    申请号:CN201910145814.7

    申请日:2019-02-27

    IPC分类号: H01L31/0236 H01L31/18

    摘要: 本发明公开了一种干法黑硅片的高效量产制备方法,包括以下步骤:步骤一,去除损伤层:采用酸腐蚀或者碱腐蚀的方法,将硅片表面的损伤层去除;步骤二,清洗:将去除损伤层的硅片进行清洗,去除其表面多孔硅以及药液残留;步骤三,磷扩散吸杂:采用浓磷扩散在步骤二得到的硅片表面形成重掺杂区,吸收硅片体内杂质;步骤四,去除扩散吸杂层:采用碱腐蚀的方法,去除扩散吸杂层;步骤五,制备黑硅片:采用RIE黑硅工艺制备黑硅片;步骤六,修饰绒面:对步骤五得到的表面具有纳米孔洞的黑硅片进行修饰,得到黑硅片。本发明成本低,易于量产,可以显著提升硅片品质,从而提高多晶电池效率,增加多晶产品的市场竞争力。

    一种单面湿法黑硅制绒方法

    公开(公告)号:CN110473936A

    公开(公告)日:2019-11-19

    申请号:CN201910684230.7

    申请日:2019-07-26

    摘要: 本发明涉及一种单面湿法黑硅制绒方法,通过将硅片以两两相并的方式贴合在一起放置,分别进行碱液抛光,沉积金属颗粒,电化学反应挖孔,而后将贴合的两片分开,修饰孔洞,去除金属离子残留的方式,制备单面制绒黑硅片。制绒后的硅片贴合面经过抛光,非贴合面具有蠕虫状的孔洞结构。本发明中,在完成挖孔后立即进行分片,去除金属残留,避免扩孔反应中的二次挖孔,挖孔后再次进行清洗,去除剩余金属离子,此方法中金属残留量小,制程量率高。本发明工艺使得金属颗粒残留比例更低,非制绒面更平整,最终达到产量提升100%,成本降低40%,电池转化效率提升0.05%的效果。

    一种带有过滤装置的碱抛槽
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109841705A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201910141596.X

    申请日:2019-02-26

    IPC分类号: H01L31/18 C30B33/10 B01D29/11

    摘要: 本发明公开了一种带有过滤装置的碱抛槽,包括碱抛槽主槽,所述碱抛槽主槽外通过循环管与碱抛槽主槽内形成回路,所述循环管上安装有过滤装置,所述过滤装置包括过滤箱和伸入过滤箱内的过滤芯,所述碱抛槽主槽内的药液经循环管进入过滤箱内,药液由过滤芯过滤,过滤后的药液再经循环管重新进入碱抛槽主槽内,所述碱抛槽主槽还设置有补液口;本发明通过在碱抛槽主槽外加设一个过滤装置,将脏污和胶体生成物阻隔在过滤箱内,同时将过滤区和补液区分隔开,避免新加药液与脏污反应影响补液效果;碱抛槽主槽内的药液从主槽内流出,经循环电机增压后,打入过滤装置,经过过滤后再流入主槽。

    一种可吹扫的黑硅制绒装置

    公开(公告)号:CN109841545A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201910140985.0

    申请日:2019-02-26

    IPC分类号: H01L21/67 H01L31/18

    摘要: 本发明公开了一种可吹扫的黑硅制绒装置,包括机械臂、预脱水槽槽体和晶片篮,所述预脱水槽槽体的顶部设置有开口,所述预脱水槽槽体内盛有纯水液,位于纯水液液面以上的预脱水槽槽体侧壁上安装有气体通孔,气流自预脱水槽槽体外穿过若干个气体通孔吹向预脱水槽槽体内部,所述机械臂的下段连接有晶片篮,所述晶片篮内放置若干块硅片,所述机械臂带动晶片篮上下运动;本发明在硅片烘干前的预脱水槽中使用,在气液界面附近增加气体通孔,压缩空气自气体通孔喷入预脱水槽槽体内,在预脱水过程中,机械臂将硅片缓慢从纯水中提升脱水,离开液面的一瞬间,硅片经过压缩空气的吹扫,快速地将硅片上残余的水份吹干,防止硅片间粘黏在一起。

    一种带有过滤装置的碱抛槽

    公开(公告)号:CN209487527U

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201920241035.2

    申请日:2019-02-26

    IPC分类号: H01L31/18 C30B33/10 B01D29/11

    摘要: 本实用新型公开了一种带有过滤装置的碱抛槽,包括碱抛槽主槽,所述碱抛槽主槽外通过循环管与碱抛槽主槽内形成回路,所述循环管上安装有过滤装置,所述过滤装置包括过滤箱和伸入过滤箱内的过滤芯,所述碱抛槽主槽内的药液经循环管进入过滤箱内,药液由过滤芯过滤,过滤后的药液再经循环管重新进入碱抛槽主槽内,所述碱抛槽主槽还设置有补液口;本实用新型通过在碱抛槽主槽外加设一个过滤装置,将脏污和胶体生成物阻隔在过滤箱内,同时将过滤区和补液区分隔开,避免新加药液与脏污反应影响补液效果;碱抛槽主槽内的药液从主槽内流出,经循环电机增压后,打入过滤装置,经过过滤后再流入主槽。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种可吹扫的黑硅制绒装置

    公开(公告)号:CN209526072U

    公开(公告)日:2019-10-22

    申请号:CN201920240563.6

    申请日:2019-02-26

    IPC分类号: H01L21/67 H01L31/18

    摘要: 本实用新型公开了一种可吹扫的黑硅制绒装置,包括机械臂、预脱水槽槽体和晶片篮,所述预脱水槽槽体的顶部设置有开口,所述预脱水槽槽体内盛有纯水液,位于纯水液液面以上的预脱水槽槽体侧壁上安装有气体通孔,气流自预脱水槽槽体外穿过若干个气体通孔吹向预脱水槽槽体内部,所述机械臂的下段连接有晶片篮,所述晶片篮内放置若干块硅片,所述机械臂带动晶片篮上下运动;本实用新型在硅片烘干前的预脱水槽中使用,在气液界面附近增加气体通孔,压缩空气自气体通孔喷入预脱水槽槽体内,在预脱水过程中,机械臂将硅片缓慢从纯水中提升脱水,离开液面的一瞬间,硅片经过压缩空气的吹扫,快速地将硅片上残余的水分吹干,防止硅片间粘黏在一起。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种防贴片的黑硅制绒装置

    公开(公告)号:CN209461475U

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201920240530.1

    申请日:2019-02-26

    IPC分类号: H01L31/18 C30B33/10

    摘要: 本实用新型公开了一种防贴片的黑硅制绒装置,包括机械臂、预脱水槽槽体和硅片花篮,所述预脱水槽槽体的顶部设置有开口,机械臂连接硅片花篮,硅片花篮内放置硅片;机械臂包括两组机械杆,两组机械杆分别与硅片花篮相对的两个侧壁连接,两组机械杆之间设置有上下活动的压杆,压杆的底面设置有若干个卡齿;机械臂带动其底部的硅片花篮经预脱水槽槽体顶部的开口纵向运动,压杆向下移动至卡齿将硅片花篮内的若干块硅片依次横向分隔开;本实用新型的装置设置在硅片烘干前的预脱水槽中,通过在提抓承载器的机械臂上增加可上下活动的压杆,在预脱水槽中,压杆放下,分离硅片,机械臂提升硅片的过程中确保硅片不贴片,硅片经过提拉脱水后,压杆上升抽出。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种用于单面制绒的分片吸盘

    公开(公告)号:CN210443539U

    公开(公告)日:2020-05-01

    申请号:CN201921193001.7

    申请日:2019-07-26

    发明人: 孙鹏 张良 董文成

    IPC分类号: H01L21/683 H01L31/18

    摘要: 本实用新型涉及一种用于单面制绒的分片吸盘,包括吸盘基体,吸盘基体内部设有抽气管道;抽气管道外部连接有负压环;负压环上设有多个抽气孔;抽气管道连接有吸盘进气口;吸盘进气口另一端连接有真空装置;真空装置与吸盘进气口采用气管相连接。该吸盘采用负压环设计,气体由抽气孔抽出,经过抽气管道排出。抽气孔分三层,以同心圆形状排列,每层抽气孔形成独立的负压环,三层负压环高度逐渐降低,形成大负压环,这种设计一方面增强吸力,另一方面不会与硅片直接接触,保护制绒后的绒面不被破坏。该实用新型能有效地针对用于改善单面制绒工艺中分片问题,降低分片过程中碎片率,减少对硅片绒面造成的损伤,降低制绒成本,提升制绒效果。