本实用新型公开了一种半导体氮化钛气相沉积装置上端罩洗净浸泡治具，包括浸泡治具本体、圆形立柱、支腿、侧壁加强筋板、挂钩、销钉、顶端盖和排液管；所述浸泡治具本体为中空结构，在中空结构内设有圆形立柱；在浸泡治具本体底部四周设有支腿，所述侧壁加强筋板位于浸泡治具本体的侧板外壁中部；所述浸泡治具本体其中一组相对设置的侧板内壁上部设有挂钩，所述挂钩与销钉插拔式相连，销钉位于相应的侧板外壁上部，所述浸泡治具本体底部通过阀门连接有排液管，所述顶端盖盖在浸泡治具本体上。由于该治具的使用，节省了大量的酸碱溶液，现场作业拿取方便，大大的增加了生产效率。