实用新型
- 专利标题: 基于QFN的芯片封装结构的加工装置
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申请号: CN201922076053.2申请日: 2019-11-27
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公开(公告)号: CN211045380U公开(公告)日: 2020-07-17
- 发明人: 马磊 , 党鹏 , 杨光 , 彭小虎 , 王新刚 , 庞朋涛 , 任斌 , 王妙妙
- 申请人: 西安航思半导体有限公司
- 申请人地址: 陕西省西安市鄠邑区吕公路东段西户科技企业孵化器C3号楼
- 专利权人: 西安航思半导体有限公司
- 当前专利权人: 西安航思半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市鄠邑区吕公路东段西户科技企业孵化器C3号楼
- 代理机构: 苏州创元专利商标事务所有限公司
- 代理商 王健
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; B24B55/06 ; B24B9/06
摘要:
本实用新型公开一种基于QFN的芯片封装结构的加工装置,包括支撑板、第一框架、第三框架和打磨机构,所述第一框架、第三框架依次连接设置于支撑板的同一侧,所述打磨机构安装于第三框架上方;所述第一框架、第三框架各自相对的两个内壁上均安装有一电磁滑轨,位于第一框架、第三框架同一侧内壁上的电磁滑轨连通,相对设置的电磁滑轨之间连接有一移动块;所述顶板一侧与支撑板固定连接,所述挡板上开有一风嘴,所述第三框架下方设置有一吸尘仓,所述吸尘仓内设置有一负压风机。本实用新型实现了对移动至第三框架上的半导体器件的打磨,丰富了装置的内涵、提高了对半导体器件加工的自动化程度,还可以避免打磨过程中产生的碎屑飞溅。
IPC分类: