实用新型
CN211929441U 自动匀胶系统以及传输定位装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 自动匀胶系统以及传输定位装置
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申请号: CN202020496431.2申请日: 2020-04-08
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公开(公告)号: CN211929441U公开(公告)日: 2020-11-13
- 发明人: 魏学良 , 曹旭东 , 张瑞 , 吴祖豪 , 刘伟
- 申请人: 中国石油大学(北京)
- 申请人地址: 北京市昌平区府学路18号
- 专利权人: 中国石油大学(北京)
- 当前专利权人: 中国石油大学(北京)
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区府学路18号
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 陈烨; 张印铎
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/68 ; H01L21/677
摘要:
本申请公开了自动匀胶系统以及传输定位装置。传输定位装置包括:用于承载基片的传送单元;驱动机构,包括:用于带动传送单元沿传送方向移动的传送带和用于驱动传送带的电机组件,传送带在传送方向上具有相对的起始端和终止端,终止端设置有用于固定基片的转盘;用于检测基片的中心与转盘的中心相重合并发出到位信号的第一检测单元;用于固定转盘与基片的固定机构;中央控制器,中央控制器在接收到第一检测单元发出的到位信号后,能启动固定机构并停止驱动机构,基片固定在转盘上。本申请能够实现基片的自动定位以及精确定位,提高成膜质量。
IPC分类: