实现无引线封装的高温压力传感器芯片
摘要:
一种实现无引线封装的高温压力传感器芯片,特别涉及高温压力传感器领域。本实用新型在绝缘层上设有四个压敏电阻,四个压敏电阻由微通道相互隔离,且四个压敏电阻连接构成惠斯通电桥;四个压敏电阻与绝缘层通过钝化层覆盖;避免高温环境下电阻之间漏电流增大导致的芯片失效。芯片表面增加封接区,通过封接工艺把芯片和上封接玻璃连接,保障芯片敏感电阻和外部环境的气密性隔离;设计封接连通区,使得整个大片上多个器件实现电连接,保障实施静电封接工艺时外加电场的均匀分布,提高封接后芯片的成品率。该芯片可适应多种封装方式,通过上面封接玻璃或者下面封接玻璃及组合封接方式,具有广泛的适用性。
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