本实用新型公开了一种测量MOCVD行星式托盘卫星盘转速装置，包括：激光测量探头，安装在MOCVD设备的腔体观察窗上，用于发射激光束到旋转的行星式托盘、卫星盘以及晶圆片上；分光片，用于将反射回的激光分光照射到探测器，将光信号转换成电信号；多通道同步数据采集卡，用于同步读电探测器和Trigger脉冲信号，并送入到计算机中分析计算，得到卫星盘的自转速度。本实用新型适用于卫星盘转速大于行星式托盘转速，并且卫星盘上晶圆片数大于等于2的情况。