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公开(公告)号：CN115679295A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211713240.7
申请日：2022-12-30
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/52 , H01J37/32
摘要： 本发明公开了一种石墨盘旋转漂移修正方法、装置、存储介质及电子设备，该方法包括：在石墨盘旋转过程中，采集所述石墨盘旋转过程中的信号数据，所述信号数据至少包括石墨盘信号和晶圆信号；根据所述信号数据确定所述石墨盘信号和晶圆信号的临界点比例，并根据所述临界点比例对所述信号数据进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波；获取所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系，并根据所述连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按所述偏移量确定方式对所述信号方波进行处理以确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量。本发明解决了现有技术中驱动模块在带动石墨盘在旋转时会存在角度偏移而导致晶圆定位不精准的问题。
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公开(公告)号：CN115077424B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210832532.6
申请日：2022-07-15
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G01B11/245 , H01L21/66
摘要： 本发明公开了一种实时晶圆片表面曲率检测装置及方法，本发明采用多个发射波长不同的激光器发射出不同颜色的激光，并通过光路设计，将不同颜色的激光合成为一个合束激光，合束激光投射在被测量晶圆片表面后，形成反射光，反射光再经过设计的光路，形成多个单色激光光束，最终能够使各个PSD位移传感器接收到反射的激光光斑，通过PSD位移传感器监测到的激光光斑的位移变化量，实现被测量晶圆片表面曲率的检测，本发明避免了外延层生长时，反射光干涉对测量的干扰，且本发明能够在高速旋转转盘上实时对晶圆片表面曲率进行准确测量。
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公开(公告)号：CN113533770A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110775866.X
申请日：2021-07-09
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种测量MOCVD行星式托盘卫星盘转速方法及装置，通过MOCVD设备上的激光测量探头并发出一束激光；该激光照射到MOCVD设备的行星式托盘上，随着行星式托盘旋转，也会照射到卫星盘上以及卫星盘上的晶圆片；反射回的激光经分光后转换成电信号；对电信号在2个trigger脉冲信号的时间内以固定频率f采样，得出每次采样行星式托盘转过的角度Δα；根据角度Δα，计算晶圆片边缘进入和处测量点时的自转角度值ф0、ф1；通过计算出ф0和ф1角的变化即可得出卫星盘的自转速度。本发明适用于卫星盘转速大于行星式托盘转速，并且卫星盘上晶圆片数大于等于2的情况。
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公开(公告)号：CN114608482B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210506837.8
申请日：2022-05-11
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G01B11/255
摘要： 本发明提供一种曲率测量方法、系统、可读存储介质及计算机设备，方法包括：通过激光发射器沿预定方向照射于待测晶圆的预设照射位置，并控制待测晶圆进行自转，并获取到待测晶圆整圈的偏移量数据，根据偏移量数据计算出表面倾斜量；对两标准校准片分别按照上述步骤进行处理，以得到两标准校准片的偏移量数据，根据该偏移量数据计算出对应的基值及校准系数；根据基值、校准系数以及表面倾斜量计算得到待测晶圆的曲率值。本发明通过激光发射器照射在转动或自转状态下的待测晶圆，得到整圈的偏移量数据，计算出对应的表面倾斜量，利用两标准校准片来获得基值和标准系数，利用表面倾斜量、两基值和标准系数计算出待测晶圆的曲率值，节省计算成本。
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公开(公告)号：CN114608482A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210506837.8
申请日：2022-05-11
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G01B11/255
摘要： 本发明提供一种曲率测量方法、系统、可读存储介质及计算机设备，方法包括：通过激光发射器沿预定方向照射于待测晶圆的预设照射位置，并控制待测晶圆进行自转，并获取到待测晶圆整圈的偏移量数据，根据偏移量数据计算出表面倾斜量；对两标准校准片分别按照上述步骤进行处理，以得到两标准校准片的偏移量数据，根据该偏移量数据计算出对应的基值及校准系数；根据基值、校准系数以及表面倾斜量计算得到待测晶圆的曲率值。本发明通过激光发射器照射在转动或自转状态下的待测晶圆，得到整圈的偏移量数据，计算出对应的表面倾斜量，利用两标准校准片来获得基值和标准系数，利用表面倾斜量、两基值和标准系数计算出待测晶圆的曲率值，节省计算成本。
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公开(公告)号：CN115325956B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211264670.5
申请日：2022-10-17
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
IPC分类号： G01B11/16
摘要： 本发明提供一种晶圆翘曲度测量方法，该方法包括：通过激光发射器沿预定方向照射于卫星盘上待测晶圆的预设测量位置，利用位置传感器获取待测晶圆所反射的激光光斑信息，并根据激光光斑信息得到对应的激光反射角度；控制卫星盘进行自转，并控制石墨托盘进行公转，以第一预设采样频率对位置传感器进行数据采样，得到待测晶圆的采样次数以及石墨托盘的采样次数；根据石墨托盘的采样次数计算出每次采样时石墨托盘的旋转角度，并基于石墨托盘的旋转角度和待测晶圆的采样次数计算出每次采样时待测晶圆的旋转角度，并计算出预设测量位置与待测晶圆中心的距离；根据每次采样时预设测量位置与待测晶圆中心的距离和激光反射角度计算出待测晶圆的翘曲度。
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公开(公告)号：CN115325956A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202211264670.5
申请日：2022-10-17
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
IPC分类号： G01B11/16
摘要： 本发明提供一种晶圆翘曲度测量方法，该方法包括：通过激光发射器沿预定方向照射于卫星盘上待测晶圆的预设测量位置，利用位置传感器获取待测晶圆所反射的激光光斑信息，并根据激光光斑信息得到对应的激光反射角度；控制卫星盘进行自转，并控制石墨托盘进行公转，以第一预设采样频率对位置传感器进行数据采样，得到待测晶圆的采样次数以及石墨托盘的采样次数；根据石墨托盘的采样次数计算出每次采样时石墨托盘的旋转角度，并基于石墨托盘的旋转角度和待测晶圆的采样次数计算出每次采样时待测晶圆的旋转角度，并计算出预设测量位置与待测晶圆中心的距离；根据每次采样时预设测量位置与待测晶圆中心的距离和激光反射角度计算出待测晶圆的翘曲度。
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公开(公告)号：CN115679295B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211713240.7
申请日：2022-12-30
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/52 , H01J37/32
摘要： 本发明公开了一种石墨盘旋转漂移修正方法、装置、存储介质及电子设备，该方法包括：在石墨盘旋转过程中，采集所述石墨盘旋转过程中的信号数据，所述信号数据至少包括石墨盘信号和晶圆信号；根据所述信号数据确定所述石墨盘信号和晶圆信号的临界点比例，并根据所述临界点比例对所述信号数据进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波；获取所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系，并根据所述连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按所述偏移量确定方式对所述信号方波进行处理以确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量。本发明解决了现有技术中驱动模块在带动石墨盘在旋转时会存在角度偏移而导致晶圆定位不精准的问题。
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公开(公告)号：CN115077424A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210832532.6
申请日：2022-07-15
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G01B11/245 , H01L21/66
摘要： 本发明公开了一种实时晶圆片表面曲率检测装置及方法，本发明采用多个发射波长不同的激光器发射出不同颜色的激光，并通过光路设计，将不同颜色的激光合成为一个合束激光，合束激光投射在被测量晶圆片表面后，形成反射光，反射光再经过设计的光路，形成多个单色激光光束，最终能够使各个PSD位移传感器接收到反射的激光光斑，通过PSD位移传感器监测到的激光光斑的位移变化量，实现被测量晶圆片表面曲率的检测，本发明避免了外延层生长时，反射光干涉对测量的干扰，且本发明能够在高速旋转转盘上实时对晶圆片表面曲率进行准确测量。
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公开(公告)号：CN215415484U
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202121554202.2
申请日：2021-07-09
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种测量MOCVD行星式托盘卫星盘转速装置，包括：激光测量探头，安装在MOCVD设备的腔体观察窗上，用于发射激光束到旋转的行星式托盘、卫星盘以及晶圆片上；分光片，用于将反射回的激光分光照射到探测器，将光信号转换成电信号；多通道同步数据采集卡，用于同步读电探测器和Trigger脉冲信号，并送入到计算机中分析计算，得到卫星盘的自转速度。本实用新型适用于卫星盘转速大于行星式托盘转速，并且卫星盘上晶圆片数大于等于2的情况。
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