一种集成测温视窗及红外测温支架的炉盖
摘要:
本实用新型公开了一种集成测温视窗及红外测温支架的炉盖,涉及碳化硅晶体生长炉炉盖技术领域,包括:炉盖主体,炉盖主体上设有炉盖水道和回水口,回水口与炉盖水道相连通;测温视窗,测温视窗包括视窗内管、视窗外管、石英玻璃片和视窗锁紧法兰,视窗内管和视窗外管均固定于炉盖主体上,测温外管侧壁上设有进水口,视窗内管与视窗外管之间形成视窗水道,视窗内管的侧壁上设有进气口,石英玻璃片下端设置于视窗内管上端,视窗锁紧法兰固定于石英玻璃片上端;红外测温仪,红外测温仪位于测温视窗上方,红外测温支架,红外测温仪固定于红外测温支架上,红外测温支架可用来调节红外测温点。本实用新型能有效提高红外测温仪测温的准确性和稳定性。
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