实用新型
- 专利标题: 一种集成测温视窗及红外测温支架的炉盖
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申请号: CN202221061838.8申请日: 2022-05-06
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公开(公告)号: CN217423982U公开(公告)日: 2022-09-13
- 发明人: 刘鹏 , 徐文立 , 胡建宇 , 何鑫辉
- 申请人: 宁波恒普真空科技股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省宁波市慈溪高新技术产业开发区新兴一路365号
- 专利权人: 宁波恒普真空科技股份有限公司
- 当前专利权人: 宁波恒普真空科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市慈溪高新技术产业开发区新兴一路365号
- 代理机构: 北京高沃律师事务所
- 代理商 石佳
- 主分类号: F27D1/18
- IPC分类号: F27D1/18 ; F27D21/00 ; F27D21/02
摘要:
本实用新型公开了一种集成测温视窗及红外测温支架的炉盖,涉及碳化硅晶体生长炉炉盖技术领域,包括:炉盖主体,炉盖主体上设有炉盖水道和回水口,回水口与炉盖水道相连通;测温视窗,测温视窗包括视窗内管、视窗外管、石英玻璃片和视窗锁紧法兰,视窗内管和视窗外管均固定于炉盖主体上,测温外管侧壁上设有进水口,视窗内管与视窗外管之间形成视窗水道,视窗内管的侧壁上设有进气口,石英玻璃片下端设置于视窗内管上端,视窗锁紧法兰固定于石英玻璃片上端;红外测温仪,红外测温仪位于测温视窗上方,红外测温支架,红外测温仪固定于红外测温支架上,红外测温支架可用来调节红外测温点。本实用新型能有效提高红外测温仪测温的准确性和稳定性。