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公开(公告)号：CN116044882A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310020051.X
申请日：2023-01-06
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
IPC分类号： F16B35/02
摘要： 本发明公开了一种用于对接使用的双螺栓头螺栓及其连接方法，涉及螺栓技术领域，包括螺栓本体、活动螺纹套和限位杆，螺栓本体的一端设有螺栓外螺纹，螺栓本体的另一端固定有连接柱，活动螺纹套转动连接于连接柱的外侧，活动螺纹套的外壁上设有螺纹套外螺纹，螺栓本体上设有螺栓限位槽，活动螺纹套上设有螺纹套限位槽，限位杆能够拆卸连接于螺栓限位槽和螺纹套限位槽内。本发明仅需要转动螺栓本体即可实现两个装置之间的固定连接，结构简单，使用方便。
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公开(公告)号：CN116043327A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211545284.3
申请日：2022-12-05
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
IPC分类号： C30B25/10 , C30B25/14 , C23C16/46 , C23C16/455
摘要： 本发明公开一种用于延长气相生长基座内热场寿命的结构，涉及半导体生产设备技术领域，包括进气室、反应室和基座；进气室底部设置有反应室，且进气室与反应室相连通；基座位于反应室内下部，且基座位于进气室正下方；基座顶部用于承托晶片；基座内设置有基座热场，基座热场用于对晶片加热；反应室底部设置有排气口；还包括顶端伸入基座的进气管，进气管的底端与一供气机构相连通；基座的底部设置有出气口。横向开口进气管和纵向开口进气管，分别对石墨电极和石英固定板的连接处以及发热体进行吹扫，降低基座内发热体受到外部气体影响并延长使用寿命，同时保证成膜过程中热场的稳定性，降低更换频率可提高生产效率。
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公开(公告)号：CN116005255A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202310018351.4
申请日：2023-01-06
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
IPC分类号： C30B25/10
摘要： 本发明公开了用于成膜装置的热场保温组件及立式成膜装置，通过在热场外周设置由内、外保温筒叠套组成的组合式保温筒结构，可包裹与热场中所有发热体相连的所有石墨电极的周边区域，内保温筒可遮挡每个石墨电极的轴向延伸大部分区域，减少石墨电极的受热面积，进而减少热场热量向四周流失；外保温筒可进一步阻隔热场的横向热量传递，减少热场热量通过反应室的金属腔壁向立式成膜装置外部传导流失。同时，通过在热场顶部安装圆环形保温盖，可避免热场热量向上散出，石墨电极与金属电极的连接处的顶部通过圆环形保温盖的外缘遮挡，能够有效避免石墨电极与金属电极连接处的热量散失。本发明能够有效降低石墨电极对热场升温以及温度分布的影响。
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公开(公告)号：CN112512728B
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202080004093.9
申请日：2020-04-29
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
IPC分类号： B22F3/10
摘要： 本发明公开了一种双向气氛控制工艺及双向气氛烧结炉，通过双向气氛控制，让单向气氛控制中流动方向上各区域产品尺寸、性能出现的差异得到反方向气氛控制的补足，使产品的尺寸、性能前后均匀。
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公开(公告)号：CN115573031A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211390668.2
申请日：2022-11-07
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本发明公开一种碳化硅晶体生长炉温梯调整装置，涉及碳化硅晶体生长炉技术领域，包括固定盘和旋转盘；所述固定盘置于碳化硅晶体生长炉热场顶部，所述旋转盘至于固定盘上方，旋转盘与一旋转机构传动连接；所述固定盘和所述旋转盘上相对应的设置有散热孔；所述旋转机构用于转动旋转盘以改变散热面积。本发明中的碳化硅晶体生长炉温梯调整装置，通过转动旋转盘以改变散热孔的面积，以改变热场坩埚的轴向温度梯度和坩埚顶部的径向温度梯度，本发明装置提供的装置能够调整热场坩埚的轴向温度梯度和坩埚顶部的径向温度梯度，提高碳化硅晶体生产速率，增大碳化硅晶体生产厚度，提高碳化硅单晶质量。
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公开(公告)号：CN114672875A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202210434525.0
申请日：2022-04-24
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本发明公开一种立式晶体生长炉下炉盖锁紧机构，涉及锁紧机构技术领域，包括设置于框架上的锁紧组件和驱动系统，所述锁紧组件包括联动块、安装座、连杆座和驱动结构；所述安装座用于与所述框架或炉体相连接，所述驱动结构设置于所述安装座一端，所述连杆座设置于所述安装座另一端，所述联动块与所述连杆座活动连接，所述驱动结构与所述联动块传动连接，所述驱动系统与所述驱动结构动力连接。1.通过简单的机构实现了下炉盖的自动锁紧，避免了人工操作的繁琐费时及可能造成的风险。2.通过在驱动系统中设计增加冗余保护系统，实现了在驱动力缺失、断电、管路破损、驱动换向阀损坏的情况下对炉盖的自锁功能。
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公开(公告)号：CN114192779A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202210011955.1
申请日：2022-01-07
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本发明公开一种多向气氛烧结炉及多向气氛控制工艺，涉及烧结炉及烧结工艺技术领域；该气氛烧结炉包括料箱，所述料箱的前部、后部、中部、左部和右部等均分别设置有气氛控制机构，所述气氛控制机构包括进气机构和出气机构，气体能够通过所述进气机构流入所述料箱，并通过所述出气机构流出料箱，从而形成气体在料箱内外的流动。该工艺包括，步骤一，通过料箱至少一个方向上的气氛控制机构作为进气机构向料箱内充入气体；步骤二，通过料箱除步骤一之外，其他方向上的至少一个气氛控制机构作为出气机构排出料箱内的气体。本发明通过上述多向气氛烧结炉及多向气氛控制工艺，使得料箱多个方向均能进气和出气，从而避免了气流死角和气流行程太长的问题。
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公开(公告)号：CN114152089A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111670953.5
申请日：2021-12-31
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
IPC分类号： F27B9/24
摘要： 本发明公开一种用于连续脱脂烧结炉的脱脂网带自动张紧结构，涉及张紧结构技术领域，包括第一光滑滚轮、内部摇臂、第二光滑滚轮和弹性机构；第一光滑滚轮可转动的设置于脱脂网带下方，内部摇臂一端与第一光滑滚轮的转轴相连接；内部摇臂另一端与第二光滑滚轮的转轴相连接；弹性机构一端固定于连续脱脂烧结炉的箱体上，弹性机构另一端与第一光滑滚轮的转轴相连接。此自动张紧结构能够确保脱脂网带在升温时始终处于紧绷状态，使网带平稳运行；在降温至冷态时，使设备恢复到原来状态。张紧弹簧位于箱体外部，对网带的张紧力随时可调。在箱体外部设有网带张紧止位杆和网带张紧摇臂限位杆，控制内部张紧滚轮的运动幅度。
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公开(公告)号：CN106735226B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201710052040.4
申请日：2017-01-20
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
IPC分类号： B22F3/115
摘要： 本发明公开了一种多区域气氛控制金属注射成形真空烧结炉，包括料箱、料板、进气阀、导流孔、汇流槽及出气管，料箱上开设有进气口，进气口连通设置有进气阀，料箱内设置有至少两层料板，料板上放置待加工产品，料箱的侧板上开设有至少两组分流槽，分流槽将料箱内划分为多个区域，每组分流槽对应有一个进气口，料箱底部通过至少两个导流孔与汇流槽连通，汇流槽与出气管连通。本发明中多区域气氛控制金属注射成形真空烧结炉，利用多区域的划分及宽幅方向进气，从而保证料箱内气氛的均匀性，并且通过调节各区域的气流量的大小来调整控制该区域产品尺寸的偏差大小。
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公开(公告)号：CN103706790B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310705635.7
申请日：2013-12-19
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
摘要： 本发明涉及真空脱脂烧结炉，公开了一种真空脱脂烧结炉捕集器的温度自动控制方法，每一个加热温度设定值SV对应一个压力区间，PLC控制器根据捕集器内的压力值判断出此时需要加热温度设定值SV，PLC控制器根据加热温度设定值SV和捕集器外壁的实时温度值PV进行自动计算，再将计算结果输送到固态继电器，由固态继电器来控制加热丝电流的通断。本发明在负压脱脂初期时捕集器内的压力值较低，加热丝加热温度低，大多的粘结剂蒸气都能被捕捉到；当捕集器内的压力值较高时，说明凝固在捕集器内的粘结剂较多，容易造成捕集器堵塞，此时加热丝的加热温度增高，使凝固在捕集器内壁间隙处的粘结剂遇热液化流到集脂箱内，保证气流通畅。
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