本实用新型提供了一种预检装置，该预检装置用于对晶圆进行预检和校正，晶圆包括基底片以及芯粒，预检装置包括：工作台；活动载台，且用于承载晶圆；第一相机组件，用于对晶圆进行拍摄以获取晶圆的第一检测图像；第二相机组件，用于对晶圆进行拍摄以获取芯粒的第二检测图像；分光元件，分光元件用于将第一检测图像的传输光路导向至第一相机组件，以及，分光元件用于将第二检测图像的传输光路导向至第二相机组件。通过本申请，第一相机组件不仅能够对晶圆进行预检，以减少后续检测模块中的工作量，同时还能辅助第二相机组件对晶圆进行位置校准，以使第二相机组件的校准效果更好，且校准效率更高效。