公开(公告)号：CN115144409A

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202210762373.7

申请日：2022-06-30

申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司

发明人： 王林梓 ,  苏永鹏 ,  张立芳 ,  刘浩南 ,  周尧 ,  马铁中

IPC分类号： G01N21/95 ,  G01N21/01

摘要： 本发明提供了一种预检装置及方法，该预检装置用于对晶圆进行预检和校正，晶圆包括基底片以及芯粒，预检装置包括：工作台；活动载台，且用于承载晶圆；第一相机组件，用于对晶圆进行拍摄以获取晶圆的第一检测图像；第二相机组件，用于对晶圆进行拍摄以获取芯粒的第二检测图像；分光元件，分光元件用于将第一检测图像的传输光路导向至第一相机组件，以及，分光元件用于将第二检测图像的传输光路导向至第二相机组件。通过本申请，第一相机组件不仅能够对晶圆进行预检，以减少后续检测模块中的工作量，同时还能辅助第二相机组件对晶圆进行位置校准，以使第二相机组件的校准效果更好，且校准效率更高效。

公开(公告)号：CN217561364U

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202221672757.1

申请日：2022-06-30

申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司

发明人： 王林梓 ,  苏永鹏 ,  张立芳 ,  刘浩南 ,  周尧 ,  马铁中

IPC分类号： G01N21/95 ,  G01N21/01

摘要： 本实用新型提供了一种预检装置，该预检装置用于对晶圆进行预检和校正，晶圆包括基底片以及芯粒，预检装置包括：工作台；活动载台，且用于承载晶圆；第一相机组件，用于对晶圆进行拍摄以获取晶圆的第一检测图像；第二相机组件，用于对晶圆进行拍摄以获取芯粒的第二检测图像；分光元件，分光元件用于将第一检测图像的传输光路导向至第一相机组件，以及，分光元件用于将第二检测图像的传输光路导向至第二相机组件。通过本申请，第一相机组件不仅能够对晶圆进行预检，以减少后续检测模块中的工作量，同时还能辅助第二相机组件对晶圆进行位置校准，以使第二相机组件的校准效果更好，且校准效率更高效。