实用新型
- 专利标题: 一种厚膜压力敏感头及压力传感器
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申请号: CN202222327819.1申请日: 2022-08-30
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公开(公告)号: CN218470045U公开(公告)日: 2023-02-10
- 发明人: 吴登峰 , 王小平 , 李凡亮 , 曹万 , 李兵 , 施涛
- 申请人: 武汉飞恩微电子有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道818号高科医疗器械园B区12号楼3层2号(自贸区武汉片区)
- 专利权人: 武汉飞恩微电子有限公司
- 当前专利权人: 武汉飞恩微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道818号高科医疗器械园B区12号楼3层2号(自贸区武汉片区)
- 主分类号: G01L1/22
- IPC分类号: G01L1/22
摘要:
本实用新型公开了一种厚膜压力敏感头,其包括:金属筒,其内设有纵向延伸且底端用于引入待测流体的导入通道,导入通道的顶端封堵有弹性金属膜片;纵向设置于导入通道内的隔板,隔板的一端延伸至弹性金属膜片的内侧壁,并将导入通道横向分隔为第一导入腔和第二导入腔;及固定于弹性金属膜片的外侧壁上的压力感测组件,压力感测组件包括两个压力感测电路,两个压力感测电路与第一导入腔和第二导入腔纵向一一对应。其通过将导入通道隔开为两个导入腔,并相应地通过两个压力感测电路分别测量弹性金属膜片的两部分之变形量,其能够在制造成本少量提升的前提下,很大程度上避免压力感测电路的失效问题,提高传感器的使用寿命和可靠性。