实用新型
- 专利标题: 一种SIC压力敏感器件
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申请号: CN202222842578.4申请日: 2022-10-27
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公开(公告)号: CN218545980U公开(公告)日: 2023-02-28
- 发明人: 李颖 , 任向阳 , 张治国 , 刘宏伟 , 祝永峰 , 贾文博 , 李永清 , 何方 , 张娜 , 李昌振 , 王卉如 , 钱薪竹 , 周聪 , 肖文英 , 刘柏汇 , 白雪松 , 关维冰 , 尹萍
- 申请人: 沈阳仪表科学研究院有限公司
- 申请人地址: 辽宁省沈阳市大东区北海街242号
- 专利权人: 沈阳仪表科学研究院有限公司
- 当前专利权人: 沈阳仪表科学研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 辽宁省沈阳市大东区北海街242号
- 代理机构: 沈阳科威专利代理有限责任公司
- 代理商 杨滨; 胡野
- 主分类号: G01L9/02
- IPC分类号: G01L9/02
摘要:
本实用新型公开了一种SIC压力敏感器件,其特征在于:包括敏感芯片及衬底玻璃,所述敏感芯片包括n‑p‑n型SIC材料的基体,所述基体由上至下包括器件层、过渡层、SIC衬底;在敏感芯片的器件层上方设置有SI面,在SIC衬底下方设置有C面;在器件层上设置有由器件层加工而成的四个敏感电阻、封接区、连接区,四个敏感电阻连接后构成惠斯通电桥;敏感电阻与过渡层之间通过PN结隔离;在封接区上设置有金属电极,金属电极通过封接区、连接区与敏感电阻相连接;在SIC衬底上设置有压力敏感膜片和凹形敏感芯片杯体;敏感芯片通过SI面或C面与衬底玻璃封接配合。本实用新型结构稳定性好,适用范围广,还具有高精度、高稳定,高可靠、适用各种恶劣环境使用的特点。