一种SIC压力敏感器件
摘要:
本实用新型公开了一种SIC压力敏感器件,其特征在于:包括敏感芯片及衬底玻璃,所述敏感芯片包括n‑p‑n型SIC材料的基体,所述基体由上至下包括器件层、过渡层、SIC衬底;在敏感芯片的器件层上方设置有SI面,在SIC衬底下方设置有C面;在器件层上设置有由器件层加工而成的四个敏感电阻、封接区、连接区,四个敏感电阻连接后构成惠斯通电桥;敏感电阻与过渡层之间通过PN结隔离;在封接区上设置有金属电极,金属电极通过封接区、连接区与敏感电阻相连接;在SIC衬底上设置有压力敏感膜片和凹形敏感芯片杯体;敏感芯片通过SI面或C面与衬底玻璃封接配合。本实用新型结构稳定性好,适用范围广,还具有高精度、高稳定,高可靠、适用各种恶劣环境使用的特点。
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