本申请公开了一种用于驱动定位的高精度导轨装置，包括导轨本体和滑动安装在所述导轨本体上的驱动定位机构，所述驱动定位机构还与所述导轨本体驱动连接，通过控制所述驱动定位机构移动的距离实现对驱动定位机构的位置定位。本实用新型提供的导轨通过设置有限制径向间隙误差引入的成对设置的限位轮和用于限制轴向间隙误差引入的限位凸棱，使得滑动设置在导轨本体上的驱动定位机构能够完全按照导轨本体的设置滑动，滑动过程中误差引入小，轨迹一致性好，精度可控性高。