本实用新型公开了一种束流传输线用偏角辐照系统包括：所述辐照系统包括：束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述束流传输线包括：水平部；转向部，包括一90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面；垂直部，包括与90度偏转磁铁连通的束流管道，置在所述束流管道周部的偏转机构，及设置在束流管道端部的束流出口；本实用新型通过设计90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面，进而当束流传输线需要辐照晶圆时，晶圆与水平面平行即可，进而避免了晶圆在辐照时发生脱离现象，且由于托板与水平面平行放置，后续送料系统常规布置即可，无需改变整体方位，使得安装布置更加便捷。