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公开(公告)号：CN116648041A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310755043.X
申请日：2023-06-25
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种新型散热式医用回旋加速器离子源阴极支架及散热方法，所述阴极支架包括：真空室；所述真空室上连接有两组阴极支架；每组阴极支架包括：放电单元，与所述真空室连通；散热单元，与所述放电单元连接，包括水冷块，所述水冷块上开通有冷却水进口及冷却水出口，所述水冷块内设有与所述冷却水进口及冷却水出口连通的冷却水流动腔。本发明采用间接水冷方式，将放电单元的热量进行传到至水冷块，并通过冷却水将水冷块中热量带走，维持了离子源的工作温度同时，又避免了温度过高带来的高温电极熔化的问题。
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公开(公告)号：CN118658765A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202410823550.7
申请日：2024-06-24
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/21 , H01J37/244 , H01L21/265
摘要： 本发明公开了一种基于次级粒子的晶圆辐照点定位方法及系统，所述方法包括：步骤1、将多个粒子探测器布置在辐照点四周，将靶材放置在辐照质子流下；步骤2、辐照质子流照射辐照点上的靶材；步骤3、质子与晶圆发生核反应产生次级粒子，粒子探测器接收到散射的次级粒子；步骤4、依据点核积分算法，根据接收到的次级粒子信息，得到辐照点对单个探测器的距离，结合多个粒子探测器之间的距离得到辐照点的具体位置。本发明基于高能氢离子注入产生的次级粒子，依托粒子探测器可针对氢离子注入过程进行监控，结合点核积分算法反演，达到晶圆辐照点定位。
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公开(公告)号：CN115090983B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202210881638.5
申请日：2022-07-26
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于束流收集桶的焊接方法，包括步骤1、将束流收集桶的吸能层和与其适配的散热层进行装配；所述吸能层为倒梯形结构；通过将吸能层设计为倒梯形，使得吸能层与散热层的接触面更加稳定；步骤2、通过压紧机构使吸能层、散热层相对固定；步骤3、吸能层、散热层相对固定后，通过真空钎焊对吸能层和散热层进行焊接，使得吸能层、散热层固定。本发明通过将导热层设计为倒梯形，使得导热层与吸能层的接触面更加稳定，同时设计压紧机构使得导热层和散热层相对固定，通过相对固定的方式抵消导热层和散热层由于热膨胀系数不同，在焊接时散热层出现的膨胀现象。
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公开(公告)号：CN117059462A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311324545.3
申请日：2023-10-13
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/317 , H01F6/06 , H01F6/04
摘要： 本发明公开了一种用于高能氢离子注入机的高温超导偏转装置及方法，所述装置包括：壳体，设置在所述壳体内的束流管道；还包括：选中粒子束流管道，设计两组，分别设置在所述束流管道两侧，且与所述束流管道连通；选中粒子束流管道由多个偏转磁体组成；所述偏转磁体包括：线圈骨架，由无磁材料制成，表层开有槽口；二代高温超导带材，缠绕在线圈骨架的槽口中，形成超导线圈。本发明通过将偏转磁体的线圈骨架设计为无磁材料，二代高温超导带材绕制在无磁骨架上，通过制冷部进行对二代高温超导带材缠绕的超导线圈进行冷却，达到超导线圈进入超导态的温度，给超导线圈通入直流电，快速建立磁场；整体装置无铁芯，不会产生磁滞现象。
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公开(公告)号：CN115938895A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211738290.0
申请日：2022-12-31
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/317 , H01L21/02 , H01L21/263 , H01L21/423
摘要： 本发明公开了一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法包括：所述辐照系统包括：束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述束流传输线包括：水平部；转向部，包括一90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面；垂直部，包括与90度偏转磁铁连通的束流管道，置在所述束流管道周部的偏转机构，及设置在束流管道端部的束流出口；本发明通过设计90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面，进而当束流传输线需要辐照晶圆时，晶圆与水平面平行即可，进而避免了晶圆在辐照时发生脱离现象，且由于托板与水平面平行放置，后续送料系统常规布置即可，无需改变整体方位，使得安装布置更加便捷。
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公开(公告)号：CN219106068U
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202223579772.4
申请日：2022-12-31
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/317 , H01L21/02 , H01L21/263 , H01L21/423
摘要： 本实用新型公开了一种束流传输线用偏角辐照系统包括：所述辐照系统包括：束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述束流传输线包括：水平部；转向部，包括一90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面；垂直部，包括与90度偏转磁铁连通的束流管道，置在所述束流管道周部的偏转机构，及设置在束流管道端部的束流出口；本实用新型通过设计90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面，进而当束流传输线需要辐照晶圆时，晶圆与水平面平行即可，进而避免了晶圆在辐照时发生脱离现象，且由于托板与水平面平行放置，后续送料系统常规布置即可，无需改变整体方位，使得安装布置更加便捷。
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公开(公告)号：CN220545185U
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202322123430.X
申请日：2023-08-08
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司 , 国核铀业发展有限责任公司
摘要： 本实用新型公开了一种用于晶圆质子辐照扫描磁体内侧真空盒的冷却结构，包括真空盒，所述真空盒上下两端焊接有对称的连接法兰盘，所述连接法兰盘上设置有束流口，通过束流口可以进行回旋加速器的质子束流引入，所述真空盒上下均安装有温度报警器，所述温度报警器设置的报警温度为100℃，所述真空盒另一侧设置有冷却管组件，通过冷却管组件进行水冷处理，其优点在于利用水冷以及风冷双重冷却，可以稳定控制用于芯片辐照扫描磁铁内侧真空盒的温度，避免真空盒因高温而发生熔化，结构简单、加工成本低、即时响应、高效散热。
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公开(公告)号：CN221201071U
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202323142298.3
申请日：2023-11-20
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/317
摘要： 本实用新型公开了一种用于高能氢离子注入的水冷高频Dee板包括：Dee板本体，所述本体上开有圆形通孔，供冷却水流通；导热通道，设计两组，呈相对设置，分别设置在Dee板本体中，位于Dee板本体两端，且部分延时至圆形通孔中。本实用新型在Dee板本体两端内设计导热通道，冷却水从圆形通孔流入，并在压力差的作用下流过水冷通道，带走Dee板上的热量。
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公开(公告)号：CN219173032U
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202221912473.5
申请日：2022-07-25
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，所述装置包括减震部，用于存放收纳部，使收纳部稳定在减震部内；收纳部，至少设计一组，用于收纳晶圆，使晶圆稳定在收纳部内；所述收纳部包括：晶圆固定盒组，使晶圆收纳至晶圆固定盒组内；氮气囊组，使晶圆固定盒组稳定在收纳部内。通过在收纳部内设计氮气囊上和氮气囊下，进行夹住晶圆固定盒组，使得晶圆固定盒组稳定在氮气囊上和氮气囊下之间，避免晶圆固定盒出现晃动现象，同时搭配收纳部，形成双重稳定方式，使得晶圆在运输过程中更加稳定，最大限度的上的减少了晶圆的运输损耗。
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