实用新型
- 专利标题: 一种半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置
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申请号: CN202223390719.X申请日: 2022-12-18
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公开(公告)号: CN219150911U公开(公告)日: 2023-06-09
- 发明人: 郑剑华 , 苏建国 , 张元元 , 孙彬 , 朱建
- 申请人: 南通华隆微电子股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省南通市通州区兴东镇孙李桥村西八组
- 专利权人: 南通华隆微电子股份有限公司
- 当前专利权人: 南通华隆微电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南通市通州区兴东镇孙李桥村西八组
- 代理机构: 南通国鑫智汇知识产权代理事务所
- 代理商 刘玉洁
- 主分类号: B08B3/02
- IPC分类号: B08B3/02 ; H01L21/67
摘要:
本实用新型涉及半导体清洗技术领域,尤其涉及一种半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置,包括主壳体,主壳体的顶部固定安装有蓄水箱,蓄水箱的表面设置有液位观察窗,主壳体表面的上端固定安装有第一电机部件,第一电机部件的输出轴贯穿至主壳体的内部,且第一电机部件的输出轴固定连接有活动传动杆,活动传动杆的一端活动连接有洒布杆。本实用新型通过在本装置上设置带有固定限位机构的传送带以及设置有多个固定支柱,使得本装置在实际使用过程中不仅能够便于半导体的固定限位,更能够实现半导体的连续清洗,通过在本装置上设置有传动结构,喷淋时洒布杆摇摆,使得喷头组件可以对半导体进行多角度多方位的喷淋清洗,使得清洗效果更好。
IPC分类: