实用新型
- 专利标题: 一种新型可饱和吸收镜
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申请号: CN202321594973.3申请日: 2023-06-21
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公开(公告)号: CN220122326U公开(公告)日: 2023-12-01
- 发明人: 张子旸 , 陈红梅 , 王洪培
- 申请人: 青岛翼晨镭硕科技有限公司
- 申请人地址: 山东省青岛市胶州市上合示范区闽江路60号
- 专利权人: 青岛翼晨镭硕科技有限公司
- 当前专利权人: 青岛翼晨镭硕科技有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省青岛市胶州市上合示范区闽江路60号
- 代理机构: 青岛申达知识产权代理有限公司
- 代理商 蒋遥明
- 主分类号: H01S3/113
- IPC分类号: H01S3/113
摘要:
本实用新型公开了一种新型可饱和吸收镜,包括衬底、覆盖在所述衬底上的金属反射层,金属反射层上覆盖有空腔吸收层,空腔吸收层上设有介质膜增透层,介质膜增透层包括若干层叠放置的增透层,相邻增透层间设有第二增透层,第一增透层材料与第二增透层材料折射率不同。本实用新型结构简单,有效的减少了半导体材料的层数堆积,制造工艺比半导体可饱和吸收镜的制造工艺的流程简便,避免了生产过程的缺陷,提高了可饱和吸收镜的工作性能及使用寿命。