本实用新型公开了一种PECVD电极垂直吊装辅助工装，包括：型材架，在所述型材架的上部设置多个垂直起吊组件，所述型材架沿不同方位设置至少四个C型钩组件，所述C型钩组件具有上钩头与下钩头，所述上钩头紧贴所述型材架的上部进行设置，所述下钩头远离所述型材架的下部进行设置，在所述上钩头与下钩头之间设置张紧机构，使得所述上钩头与所述型材架固定连接，所述下钩头通过所述张紧机构进行张开或扣紧活动。本实用新型的优点是：结构简单，操作方便；垂直起吊，安装精度有保证，能够保证电极与腔体的密封；安装效率高，对电极的保护较好，平均安装效率从1H下降至15min。