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公开(公告)号：CN117244474A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202310646873.9
申请日：2023-06-02
申请人： 捷造科技(宁波)有限公司
IPC分类号： B01J4/00
摘要： 本发明公开了一种特气快速接入装置及其使用方法，包括：工艺腔室上盖，所述工艺腔室上盖之上具有第一通孔，在所述工艺腔室上盖的上表面连接所述第一通孔的位置设置特气出口管道，在所述工艺腔室上盖的下表面连接所述第一通孔的位置设置特气对接模块，所述特气对接模块具有特气工艺孔，所述特气工艺孔与所述第一通孔相通，还包括下工艺腔室，所述工艺腔室上盖通过自身重力压置于所述下工艺腔室之上，使得所述特气通入管道、特气对接模块以及特气出口管道之间形成特气通路。本发明的优点是：避免了从大宗气站的特气管道直接通入保养过程中需要移动的上腔室，做到安全，方便，快捷，提高了保养效率，节约了保养费用。
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公开(公告)号：CN220284214U
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202321773838.5
申请日：2023-07-07
申请人： 捷造科技(宁波)有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , H01L31/20 , C23C16/50
摘要： 本实用新型公开了一种PECVD分区域双面镀膜载板，包括：至少一个放置单元，所述放置单元为钨丝十字交叉结构，所述钨丝十字交叉结构包括在外框之间嵌入拉紧的形成阵列排布的十字交叉型状的钨丝，用于放置承载件，所述钨丝通过张紧装置与所述外框进行紧固，所述放置单元的边缘上还设置孔洞式载板识别器。本实用新型的优点是：交叉式设计能有效地预防双面镀膜产生的边缘效应，解决由边缘效应导致的色差问题，提升生产良率与电池转换效率；有利于精准定位，实现自动化精准放片，提高子载板整体的可靠性能。
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公开(公告)号：CN220016508U
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202321388233.4
申请日：2023-06-02
申请人： 捷造科技(宁波)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种特气快速接入装置，包括：工艺腔室上盖，所述工艺腔室上盖之上具有第一通孔，在所述工艺腔室上盖的上表面连接所述第一通孔的位置设置特气出口管道，在所述工艺腔室上盖的下表面连接所述第一通孔的位置设置特气对接模块，所述特气对接模块具有特气工艺孔，所述特气工艺孔与所述第一通孔相通，还包括下工艺腔室，所述工艺腔室上盖通过自身重力压置于所述下工艺腔室之上，使得所述特气通入管道、特气对接模块以及特气出口管道之间形成特气通路。本实用新型的优点是：避免了从大宗气站的特气管道直接通入保养过程中需要移动的上腔室，做到安全，方便，快捷，提高了保养效率，节约了保养费用。
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公开(公告)号：CN220131697U
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202321388126.1
申请日：2023-06-02
申请人： 捷造科技(宁波)有限公司
IPC分类号： B66C1/28
摘要： 本实用新型公开了一种PECVD电极垂直吊装辅助工装，包括：型材架，在所述型材架的上部设置多个垂直起吊组件，所述型材架沿不同方位设置至少四个C型钩组件，所述C型钩组件具有上钩头与下钩头，所述上钩头紧贴所述型材架的上部进行设置，所述下钩头远离所述型材架的下部进行设置，在所述上钩头与下钩头之间设置张紧机构，使得所述上钩头与所述型材架固定连接，所述下钩头通过所述张紧机构进行张开或扣紧活动。本实用新型的优点是：结构简单，操作方便；垂直起吊，安装精度有保证，能够保证电极与腔体的密封；安装效率高，对电极的保护较好，平均安装效率从1H下降至15min。
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公开(公告)号：CN220432970U
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202321774185.2
申请日：2023-07-07
申请人： 捷造科技(宁波)有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/50 , C23C16/52 , H01L31/18 , H01L21/68
摘要： 本实用新型公开了一种PECVD载板在腔室内精确定位装置，在腔室的入口位置的外部设置至少一个第一激光定位传感器，在腔室的出口位置的外部设置至少一个第二激光定位传感器，所述腔室内包括用于承载被运输件的载板，设于所述载板底部用于带动所述载板运动的传动机构，以及用于驱动所述传动机构的驱动机构，所述第一激光定位传感器与第二激光定位传感器电连接PLC电气控制器，所述PLC电气控制器电连接伺服电机。本实用新型的优点是：程序PLC控制伺服电机，可以使得载板定位精确，避免惯性产生的误差；腔体内全程无接触，仅依靠室外传感器控制载板的启停。对镀膜有更加好的效果。
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公开(公告)号：CN220012796U
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202321525248.0
申请日：2023-06-15
申请人： 捷造科技(宁波)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种镀膜设备进片室装置，包括：进片室腔室，在所述进片室腔室内设置至少一组布气盒组件，所述布气盒组件与载有硅片的载板具有一定间距，所述布气盒组件包括两个对称分布的布气盒，该两个对称分布的布气盒之间形成一定间隙，在所述间隙对应的进片室腔室底部设置第一通孔，在所述第一通孔两侧垂直于所述间隙的方向对称设置第二通孔与第三通孔，所述第一通孔大于所述第二通孔与第三通孔，所述第一通孔用于连接粗抽管道，所述第二通孔与第三通孔分别用于连接第一精抽管道与第二精抽管道。本实用新型的优点是：能够降低抽空过程中基片碎片、叠片、掉片的风险。可以快速实现进片室真空，提升进料节拍，消除瓶颈工站。
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