一种单晶炉尾气的氩气回收系统
摘要:
本实用新型属于单晶生产技术领域。鉴于现有的氩气回收系统存在氩气回收率低,存在氩气浪费的问题,本实用新型公开了一种单晶炉尾气的氩气回收系统,该系统包括尾气收集装置、纯化装置、精馏装置、空压装置、第一汽化器和液氩储罐;其中,所述第一汽化器的进液口和所述精馏装置的液氩出口及所述液氩储罐连通;所述第一汽化器的出气口连接至用户;所述液氩储罐设有和所述纯化装置连通的排空管路;所述排空管路上设有排空阀。该氩气回收系统回收液氩充装时浪费的氩气,氩气综合回收率高,有利于降低运行成本。
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