实用新型
- 专利标题: 具液膜厚度调节装置的干燥腔室
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申请号: CN202322249435.7申请日: 2023-08-21
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公开(公告)号: CN220567750U公开(公告)日: 2024-03-08
- 发明人: 张为强 , 王嘉琪 , 刘福强 , 张博 , 张康
- 申请人: 北京晶亦精微科技股份有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101
- 专利权人: 北京晶亦精微科技股份有限公司
- 当前专利权人: 北京晶亦精微科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101
- 代理机构: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理商 向森
- 主分类号: F26B11/18
- IPC分类号: F26B11/18 ; F26B5/08 ; F26B25/00 ; F26B25/02 ; F26B25/18
摘要:
本实用新型公开了一种具液膜厚度调节装置的干燥腔室,干燥腔室包括干燥腔、位于干燥腔外的主动模块、以及装设于干燥腔内的从动模块;主动模块包括电机以及主磁性转子组件,主磁性转子组件与干燥腔底壁间隙设置;从动模块包括转动装设于干燥腔的底壁上的副磁性转子组件,副磁性转子组件与主磁性转子组件相对设置,副磁性转子组件上远离主磁性转子组件的一端固定连接有锁紧装置,锁紧装置适于锁紧待干燥元件,主动模块包括工作状态和非工作状态,在工作状态,电机驱动主磁性转子组件转动,转动的主磁性转子组件驱动副磁性转子组件转动,以带动锁紧装置、待干燥元件转动。可提高待干燥元件上液膜厚度一致性和干燥效果。
IPC分类: