功率半导体器件或模块的主动式蒸发散热装置
摘要:
本实用新型涉及一种功率型半导体器件或模块的主动式蒸发散热装置。该装置是将功率半导体器件或模块的外壳制成中空封闭的壳体,其中充填绝缘蒸发冷却介质,在外壳上部设有冷凝器,二者通过管路联通。本实用新型以半导体器件或模块的壳体作为蒸发器的外壳,形成全封闭的冷却循环系统,具有极高的冷却散热效率,相当于相同几何尺寸的良导体(如实心铜)导热率的350倍以上。可实现多个功率器件或模块,特别是不同功率、不同发热量的器件或模块,在高度一体化或高度集成化的条件下,集中工作与散热。本实用新型适于对高热密度大功率器件的冷却和对高密度安装或集成了大功率器件的组合体进行冷却。
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